[发明专利]测试系统

说明书

测试系统(1)是用于进行包括被测装置的静态特性测试的测试的测试系统，测试系统(1)包括：多个静态特性单元(21、22、23、25、71、72、73)，用于静态特性测试的测量；以及替换单元(24)，其被配置成能够附接和拆卸多个静态特性单元(21、22、23、25、71、72、73)之中的特定单元(71、72、73)，根据测量项目选择性使用特定单元(71、72、73)。

技术领域

本公开内容涉及测试系统。

背景技术

通常，存在用于检查诸如绝缘栅双极晶体管(IGBT)的功率半导体模块的测试设备。例如，在PTL1中描述了确定被测装置(DUT)的质量的半导体测试设备。

引用列表

专利文献

PTL1：日本未审专利公开第2009-92562号

发明内容

技术问题

根据用户的要求规格，DUT的测试项目和测试内容可能有所不同。例如，在静态特性测试中，存在需要提供电压的测量、需要提供电流的测量以及需要提供电压和电流的测量。专利文献1中描述的半导体测试设备不能灵活地处理要求规格。更具体地，由于专利文献1中描述的半导体测试设备需要被单独设计以形成对于要求规格中包括的DUT的测试项目和测试内容所需和足够的配置，所以用于提供半导体测试设备所需的时间变长。

在本技术领域中，期望能够灵活处理以下情况的测试系统：在该情况下，每个用户所要求的测试项目不同。

解决问题的技术手段

根据本公开内容的一方面的测试系统是用于进行包括被测装置的静态特性测试的测试的测试系统。测试系统包括：多个静态特性单元，用于静态特性测试的测量；以及替换单元，其被配置成能够附接和拆卸多个静态特性单元之中的特定单元，根据静态特性测试的测量项目选择性使用特定单元。

在测试系统中，可以附接和拆卸根据静态特性测试的测量项目而选择性使用的特定单元。因此，例如，根据要求的静态特性测试的测量项目，可以在替换单元上安装所需的特定单元，并且可以从替换单元移除无用的特定单元。作为结果，即使当每个用户所要求的测试项目变化时，也无需单独地设计测试系统，并且可以提供通过简单工作(仅附接和拆卸特定单元)可以处理要求规格的测试系统。

在实施方式中，特定单元可以包括：第一电压单元，其被配置成将第一电压施加至被测装置；第二电压单元，其被配置成将小于第一电压的第二电压施加至被测装置；以及电流源单元，其被配置成将电流供给至被测测装置。可以根据要求的测量项目在替换单元上安装第一电压单元、第二电压单元和电流源单元。在静态特性测试中，存在需要供给电压的测量、需要供给电流的测量以及需要供给电压和电流的测量。因此，根据要求的静态特性测试的测量项目，可以在替换单元上安装第一电压单元、第二电压单元和电流源单元之中的所需单元，并且可以从替换单元移除无用的特定单元。作为结果，即使当每个用户所要求的测试项目变化时，也无需单独地设计测试系统，并且可以提供通过简单工作(仅附接和拆卸第一电压单元、第二电压单元和电流源单元)可以处理要求规格的测试系统。

在一个实施方式中，电流源单元可以包括：多个电流源子单元，其被配置成将具有第一电流量的电流供给至被测装置。当测量项目是需要电流源单元的测量项目时，根据测量项目所需的电流量，可以在替换单元上安装多个电流源子单元之中的所需数目的电流源子单元。所需电流的大小可以根据静态特性测试的测量项目而变化。因此，当测量项目是需要电流源单元的测量项目时，无需根据要求的测量所需的电流量来单独地设计电流源单元，并且可以提供通过简单工作(仅安装所需数目的电流源子单元)可以处理要求规格的测试系统。

在一个实施方式中，测试系统还可以包括：多个动态特性单元，用于执行被测装置的动态特性测试。在这种情况下，除了静态特性测试以外，还可以执行动态特性测试。