[发明专利]附有阻气层的板状体的制造装置

说明书

本发明提供一种附有阻气层的成型物的制造装置(4)，其制造在成型物的表面形成了阻气层的附有阻气层的成型物，其特征在于，连续设置有在所述成型物上涂布阻气材料的涂布加工部(6)、对在涂布加工部(6)中涂布的阻气材料进行干燥的干燥部(5)、对在干燥部(5)中干燥的阻气材料的表面进行改性的表面改性部(7)，涂布加工部(6)、干燥部(5)、以及表面改性部(7)通过分隔部件相互区隔，在涂布加工部(6)、干燥部(5)、以及表面改性部(7)之间具有输送所述成型物的输送部(9)。

技术领域

本发明涉及附有阻气层的板状体的制造装置。

背景技术

以往，已经提出过一种阻气膜的制造方法等(例如，参照专利文献1)，其特征在于，用于EL元件用玻璃所使用的基板的替代品，具有良好的阻气性，并且制造时间短。

更具体而言，是在基材上的至少一表面上涂布聚硅氮烷含有液、并且对完成了加热干燥的聚硅氮烷膜施加常压等离子体处理或真空等离子体处理的阻气膜的制造方法。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：(日本)特开2007-237588号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在所述专利文献1公开的技术中，因为涂布工序、加热干燥工序、真空等离子体处理工序分别在不同的工序中进行，所以，除了生产性能差以外，还存在涂布液中的聚硅氮烷与空气中的水分发生反应、容易在阻气膜上产生瑕疵这样的问题。

本发明的目的在于，提供一种附有阻气层的板状体的制造装置，能够有效制造阻气特性良好的附有阻气层的板状体。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式的附有阻气层的板状体的制造装置是一种制造在板状体的表面形成有阻气层的附有阻气层的板状体的附有阻气层的板状体的制造装置，其特征在于，连续配置有在所述板状体上涂布阻气材料的涂布加工部、对在所述涂布加工部涂布的阻气材料进行干燥的干燥部、以及对在所述干燥部干燥的阻气材料的表面进行改性的表面改性部，所述涂布加工部、所述干燥部、以及所述表面改性部通过分隔部件相互区隔，在所述涂布加工部、所述干燥部、以及所述表面改性部之间设有输送所述板状体的输送部。

根据该方式的附有阻气层的板状体的制造装置，通过将涂布加工部、干燥部、以及表面改性部连续设置，能够在短时间内通过输送部输送板状体，所以，能够有效率地制造附有阻气层的板状体。

另外，根据该方式的附有阻气层的板状体的制造装置，因为能够缩短输送时间，减少输送过程中阻气层与空气中的水分发生反应，所以，能够防止在阻气层上产生瑕疵等。

即，根据本发明的一个方式，能够提供一种能够有效率地制造阻气特性良好的附有阻气层的板状体的附有阻气层的板状体的制造装置。

在本发明一个方式的附有阻气层的板状体的制造装置中，优选在装置中央配置有所述干燥部，将所述涂布加工部的输入输出开口、以及所述表面改性部的输入输出开口配置在与所述干燥部相对的位置，所述输送部配置在所述干燥部内。

根据该方式，在涂布加工部于板状体表面形成了阻气层后，仅通过由输送部从涂布加工部取出板状体就能够开始在干燥部的干燥。因此，能够在从涂布加工部向表面改性部的输送过程中在干燥部内对阻气层进行干燥，进一步有效率地制造附有阻气层的板状体。

在本发明一个方式的附有阻气层的板状体的制造装置中，优选所述涂布加工部的输入输出开口、所述干燥部的输入输出开口、以及所述表面改性部的输入输出开口与配置有所述输送部的空间相对。

根据该方式，能够享有与上述相同的作用及效果。