[发明专利]透明导电体和触摸面板

说明书

本发明提供一种透明导电体(100)，其依次层叠有透明树脂基材(10)、第一金属氧化物层(12)、包含银合金的金属层(16)和第二金属氧化物层(14)，第二金属氧化物层(14)含有氧化锌、氧化铟、氧化钛和氧化锡。

技术领域

本发明涉及透明导电体以及使用该透明导电体的触摸面板。

背景技术

透明导电体能够用作液晶显示器(LCD)、等离子体显示板(PDP)和场致发光面板(有机EL、无机EL)等的显示器、以及太阳能电池等的透明电极。另外，除了这些以外，还能够用于电磁波屏蔽膜和防红外线膜等。作为透明导电体中的金属氧化物层的材料，广泛使用着在氧化铟(In₂O₃)中添加有锡(Sn)的ITO。

近年来，智能手机和平板终端等具备触摸面板的终端正在迅速普及。这些设备具有在液晶面板上设有触摸传感器部，并且在最外表面具备玻璃盖板的结构。触摸传感器部通过在玻璃或膜基材的一个面或两面贴合1片或2片通过溅射形成的ITO膜而构成。

伴随着触摸面板的大型化和触摸传感器功能的高精度化，寻求具有高透射率、并且低电阻的透明导电体。为了降低使用了ITO膜的透明导电体的电阻，需要增加ITO膜的膜厚、或者通过热退火进行ITO膜的结晶化。但是，如果ITO膜的膜厚增加，则会导致透射率下降。另外，通常在高温下难以对膜基材进行热退火。因此，在设置于膜基材上的ITO膜的情况下，处于难以在维持高透射率的同时降低电阻的状态。

在这样的状况下，提出了具有以氧化铟或氧化锌为主要成分的金属氧化物层与金属层的层叠结构的透明导电膜(例如专利文献1、2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2002-157929号公报

专利文献2：日本特开平9-291355号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

在触摸面板等用途中，为了能够检测出触摸的位置，进行图案化过程，形成导电部分和绝缘部分。在图案化过程中，通常在形成抗蚀剂图案之后，利用酸进行蚀刻，形成电极图案，最后使用碱溶液进行抗蚀剂的剥离。为了顺利地进行这样的图案化过程，寻求金属层和金属氧化物层能够通过蚀刻一并除去、并且对于碱溶液的耐性也优异。

因此，本发明在一个侧面提供一种具有金属氧化物层与金属层的层叠结构的透明导电体，该透明导电体在蚀刻所使用的酸中的溶解性、和对于碱溶液的耐性两者均优异。另外，本发明在另一个侧面提供一种通过使用这样的透明导电体而能够有效地制造的触摸面板。

用于解决技术问题的手段

本发明在一个侧面提供一种透明导电体，其依次层叠有透明树脂基材、第一金属氧化物层、包含银合金的金属层和第二金属氧化物层，第二金属氧化物层含有氧化锌、氧化铟、氧化钛和氧化锡。

这样的透明导电体具有具备第二金属氧化物层和包含银合金的金属层的层叠结构。该第二金属氧化物层和金属层在蚀刻所使用的酸中的溶解性优异，因此，在蚀刻时能够一并除去。另外，第二金属氧化物层对于碱溶液的耐性(耐碱性)也优异。因此，可以适用于触摸面板等需要蚀刻的用途。