[发明专利]蓝宝石部件、及蓝宝石部件的制造方法有效
申请号: | 201680018288.2 | 申请日: | 2016-03-28 |
公开(公告)号: | CN107407006B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 奥村雅弘;加藤真也;尾崎嘉秀 | 申请(专利权)人: | 京瓷株式会社 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B33/02 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 蒋亭 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 蓝宝石 部件 制造 方法 | ||
1.一种蓝宝石部件,其特征在于,其是以蓝宝石为主成分且具备沿着蓝宝石晶体的C面的主面的蓝宝石部件,
在所述主面的至少一部分区域配置有多个平台结构层,所述平台结构层具有沿着所述C面的平台面、和与该平台面的边缘线抵接的侧面,
所述平台面具备比1μm见方的正方形大的平坦部。
2.根据权利要求1所述的蓝宝石部件,其特征在于,所述平台面具备比5μm见方的正方形大的平坦部。
3.根据权利要求1或2所述的蓝宝石部件,其特征在于,在所述主面的俯视中,
具备闭合曲线状的圆周边缘,
周长长的第一圆周边缘不交叉地围绕周长短的第二圆周边缘。
4.根据权利要求3所述的蓝宝石部件,其特征在于,所述第二圆周边缘位于所述第一圆周边缘的上侧。
5.根据权利要求3所述的蓝宝石部件,其特征在于,所述第一圆周边缘位于所述第二圆周边缘的上侧。
6.根据权利要求3所述的蓝宝石部件,其特征在于,所述圆周边缘的至少一个为六边形状圆周边缘。
7.根据权利要求6所述的蓝宝石部件,其特征在于,所述六边形状圆周边缘的各边沿着所述蓝宝石晶体的M面。
8.一种蓝宝石部件的制造方法,其特征在于,其是权利要求1~7中任一项所述的蓝宝石部件的制造方法,该方法具有:
加工工序,对以蓝宝石为主成分的板状体进行加工而使算术平均粗糙度Ra达到0.1μm以上,得到具有沿着蓝宝石晶体的C面的主面的基材;
加热工序,将所述基材加热至1800℃~2000℃并维持5小时~50小时;和
缓慢冷却工序,在该加热工序后,以6小时以上降温至室温。
9.一种蓝宝石部件的制造方法,其特征在于,其具有:
加工工序,对以蓝宝石为主成分的板状体进行加工而使算术平均粗糙度Ra达到0.1μm以上,得到具有沿着蓝宝石晶体的M面的主面的基材;
加热工序,将所述基材加热至1800℃~2000℃并维持5小时~50小时;和
缓慢冷却工序,在该加热工序后,以6小时以上降温至室温。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于京瓷株式会社,未经京瓷株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201680018288.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:单晶金刚石及其生长方法
- 下一篇:SiC外延晶片、SiC外延晶片的制造方法