[发明专利]用于涂覆大面积的基板的设备

权利要求书

1.一种用于涂覆基板(8)的设备，所述设备具有进气机构(2)，所述进气机构具有具备排气面的气体分配腔(5)，所述气体分配腔具有均匀地在所述排气面(2′)上分布布置的排气孔(6)，输入气体分配腔(5)中的处理气体通过所述排气孔能够进入处理室(7)并且到达布置在处理室的底板上的基板(8)，其中，所述排气面由多个位于一个共同的平面中的排气板构成，所述排气板在拆分区(10′、10″、11′、11″、12′、12″、13′、13″、14″、15′、16′、17′、18′)的范围内相互邻接，所述拆分区远离对气体分配腔(5)的体积进行限定的侧壁(5′)布置，其特征在于，两个相邻的排气板沿其共同的拆分区(10′、10″、11′、11″、12′、12″、13′、13″、14″、15′、16′、17′、18′)铰链式地相对彼此移动，并且各个排气板均通过至少一个悬挂件(20)固定在进气机构(2)的后壁(22)上、壳体(1)的盖件上或支架(29)上，其中，所述悬挂件(20)具有校准元件(32)，以便调整排气板相对于处理室的底板的竖向位置。

2.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，两个相邻的排气板在拆分区(10′、10″、11′、11″、12′、12″、13′、13″、14″、15′、16′、17′、18′)的范围内相叠或者与连接条(28)相叠。

3.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，为了悬挂排气板而使用至少三个悬挂件。

4.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，设有加热装置(3)，以便对排气板进行调温。

5.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述校准元件布置在进气机构的背侧。

6.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述排气板在拆分区的范围内具有横截面减小的凸部(24、25)，所述凸部或者相叠或者与连接条(28)相叠，使得两个在拆分区(10′、10″、11′、11″、12′、12″、13′、13″、14″、15′、16′、17′、18′)彼此对接的排气板的宽侧面平齐地交错过渡。

7.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，每个排气板均配有独立加热的加热元件。

8.根据权利要求1所述的设备，其特征在于，所述排气面由尺寸不同的排气板构成。