[发明专利]微流体装置的致动阀或泵

权利要求书

1.一种装置，包括：

具有多个聚合物层的流体流动板，所述流体流动板限定出流经微流体阀组件的流体流动通道；和

阀组件，所述阀组件包括：

阀座；

包括弹性体层的柔性膜；

位于所述阀座和所述柔性膜之间的阀腔；

阀头；和

致动器，其构造成选择性地控制由所述阀头施加到所述柔性膜的压力，使得在第一致动器状态下，所述阀头将所述柔性膜压入所述阀腔并与所述阀座接触，从而防止流体流过所述阀组件，并且在第二状态下，所述阀头和所述柔性膜基本上缩回到所述阀腔外以允许流体流过所述阀组件。

2.根据权利要求1所述的装置，其中所述柔性膜是波纹状的。

3.根据权利要求2所述的装置，其中所述阀座呈环状，并且所述膜的波纹呈与所述阀座的环状部分同轴并位于其外部的同心环状来形成。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述流体流动板包括接合到柔性膜的面向阀座侧的柔性负载分布层，所述负载分布层具有在所述阀座上方的切口，其中所述负载分布层中的切口的直径大于所述阀座的外径并小于所述阀腔的直径。

5.根据权利要求1所述的装置，包括抗静电涂层，其设置在柔性膜的面向阀头的表面中对应于阀头占据区的区域、柔性膜的面向阀座的表面中对应于阀座占据区的区域以及阀座的面向膜的表面中的至少一个上。

6.根据权利要求1所述的装置，还包括由气密壳体和柔性膜的面向阀头的表面限定出的真空室。

7.根据权利要求1所述的装置，其中所述柔性膜在所述第二状态下具有约0.25％至约2.0％之间的拉伸应变量。

8.根据权利要求1所述的装置，其中所述阀座在所述第二状态下具有约0.25％至约2.0％之间的静止拉伸应变量。

9.根据权利要求1所述的装置，其中所述柔性膜还包括生物相容性金属层。

10.根据权利要求1所述的装置，其中所述弹性体层包括多个横向应力释放切口，其围绕弹性体层的对应于阀座占据区的区域径向设置。

11.根据权利要求1所述的装置，其中所述阀座包括弹性体层。

12.一种装置，包括：

具有多个聚合物层的流体流动板，所述流体流动板限定出通过微流体阀组件的流体流动通道；和

阀组件，所述阀组件包括：

包括弹性体层的阀座；

柔性膜；

位于所述阀座和所述柔性膜之间的阀腔；

阀头；和

致动器，其构造成选择性地控制由所述阀头施加到所述柔性膜的压力，使得在第一致动器状态下，所述阀头将所述柔性膜压入所述阀腔并与所述阀座接触，从而防止流体流过所述阀组件，并且在第二状态下，所述阀头和所述柔性膜基本上缩回到所述阀腔外以允许流体流过所述阀组件。

13.根据权利要求12所述的装置，其中所述柔性膜是波纹状的。

14.根据权利要求13所述的装置，其中所述阀座呈环状，并且所述膜的波纹呈与所述阀座的环状部分同轴并位于其外部的同心环状来形成。

15.根据权利要求12所述的装置，其中所述流体流动板包括接合到柔性膜的面向阀座侧的柔性负载分布层，所述负载分布层具有在所述阀座上方的切口，所述负载分布层中的切口的直径大于所述阀座的外径并小于所述阀腔的直径。

16.根据权利要求12所述的装置，包括抗静电涂层，其设置在柔性膜的面向阀头的表面中对应于阀头占据区的区域、柔性膜的面向阀座的表面中对应于阀座占据区的区域以及阀座的面向膜的表面中的至少一个上。

17.根据权利要求12所述的装置，还包括由气密壳体和柔性膜的面向阀头的表面限定出的真空室。

18.根据权利要求12所述的装置，其中所述柔性膜在所述第二状态下具有约0.25％至约2.0％之间的拉伸应变量。

19.根据权利要求12所述的装置，其中所述阀座在所述第二状态下具有约0.25％至约2.0％之间的静止拉伸应变量。

20.根据权利要求12所述的装置，其中所述柔性膜由弹性体和生物相容性金属中的至少一种形成。

21.根据权利要求12所述的装置，其中所述膜包括第二弹性体层，并且该第二弹性体层包括多个横向应力释放切口，其围绕弹性体层的对应于阀座占据区的区域径向设置。