[发明专利]基板搬送机器人及其末端执行器

说明书

技术领域

本发明是关于一种搬送半导体基板或玻璃基板等基板的基板搬送机器人及其末端执行器。

背景技术

以往为了搬送作为半导体设备的材料的半导体基板或作为液晶显示面板的材料的玻璃基板等薄板状的基板而使用基板搬送机器人。基板搬送机器人具备机械臂、及安装在机械臂的手腕的末端执行器。用以搬送基板的末端执行器例如由薄板叉形的叶片、及将基板保持在叶片的基板保持机构构成。

如上所述的基板搬送机器人例如进行将基板搬入至处理室并将已处理的基板从处理室搬出的作业。作为此种搬送作业的一例，有向洗净处理室搬送基板的作业。在此情形时，在一个末端执行器，若支撑向洗净处理室搬入的附着有污染物的基板的部分、与支撑从洗净处理室搬出的已洗净的基板的部分相同，则有以末端执行器为媒介使污染物再次附着在基板的担忧。

因此，对于基板搬送机器人，期望在搬入时及搬出时区分使用末端执行器。为了满足该期望，以往有如下技术被提出：在一个末端执行器设置多个支撑基板的部分，在搬入时及搬出时区分使用支撑基板的部分。在专利文献1中记载有如下内容：在末端执行器具备第一吸附垫及第二吸附垫，在搬入时仅利用第一吸附垫吸附基板，在搬出时仅利用第二吸附垫吸附基板。又，在专利文献2中记载有如下内容：在末端执行器具备在周围具有多个基板保持部的旋转轴，在将基板搬入至处理室后使旋转轴旋转，且在搬出时利用与搬入时不同的保持部保持基板。

现有技术文献：

专利文献：

专利文献1：日本专利特开平10-316242号公报

专利文献2：日本专利特开2012-130985号公报。

发明内容

发明要解决的问题：

对于如上所述的基板搬送机器人，期望进一步提高处理量（每单位时间的处理能力）。为了满足该期望，考虑例如利用机器人的一循环的动作搬送多片基板。

本发明是鉴于以上内容而完成，其目的在于提供一种可利用一个末端执行器同时实现区分使用支撑基板的部分及提高处理量的基板搬送机器人及其末端执行器。

解决问题的手段：

本发明的一形态的末端执行器是安装于基板搬送机器人的机械臂的末端执行器，且具备：

多片叶片；叶片支撑部，在将与保持在上述多片叶片的至少一者的基板的主面垂直的方向规定为基板垂线方向时，所述叶片支撑部以上述多片叶片彼此的上述基板垂线方向之间隔为可变的方式支撑上述多片叶片；以及

叶片驱动装置，其使上述多片叶片中的至少一者相对于其他叶片朝上述基板垂线方向相对地移动；且

上述多片叶片分别具有：第一主面，其朝向上述基板垂线方向的一方；第二主面，其是上述第一主面的相反面；第一基板保持机构，其使基板保持在上述第一主面；以及第二基板保持机构，其使基板保持在上述第二主面。

又，本发明的一形态的基板搬送机器人具备上述末端执行器、及安装有上述末端执行器的机械臂。

根据本发明，可利用各叶片的主面保持基板。藉此，可利用基板搬送机器人的一循环的动作搬送多片基板，从而可提高作业的处理量。进而，例如可实现利用各叶片的第一主面保持洁净的基板并利用第二主面保持被污染的基板等在一只手区分使用支撑基板的部分。

发明效果：

根据本发明，可提供一种可利用一个末端执行器同时实现区分使用支撑基板的部分及提高处理量的基板搬送机器人及其末端执行器。

附图说明

图1是示出本发明的一实施形态的基板搬送机器人的整体构成的立体图；

图2是基板搬送机器人的侧视图；

图3是示出基板搬送机器人的控制系统的构成的图；

图4是末端执行器的立体图；

图5是说明末端执行器的叶片及其周边的构成的侧视图；

图6A是说明基板搬送用末端执行器的使用状态、即搬送两片洁净的基板的状态的图；

图6B是说明基板搬送用末端执行器的使用状态、即搬送两片被污染的基板的状态的图；

图6C是说明基板搬送用末端执行器的使用状态、即搬送洁净的基板及被污染的基板的状态的图；

图7是示出可从上方把持基板的类型的边缘把持式基板保持机构的一例的图；

图8是变形例1的末端执行器的立体图；

图9是说明变形例1的末端执行器的叶片及其周边的构成的侧视图；

图10A是说明变形例1的末端执行器的使用状态、即搬送两片洁净的基板的状态的图；

图10B是说明变形例1的末端执行器的使用状态、即搬送两片被污染的基板的状态的图；