[发明专利]用于通过功率供应波导中的光圈的微波旋转和阻抗偏移的通用圆柱形空腔系统

权利要求书

1.一种在等离子体反应器的圆柱形微波空腔中生成模式TE_mnl或TM_mnl的旋转微波的方法，其中m、n和l是TE模式或TM模式的用户选择的值，在所述等离子体反应器中包含覆盖在工件处理腔室上的所述圆柱形微波空腔，以及在所述圆柱形微波空腔的侧壁中的第一输入端口P和第二输入端口Q，所述第一输入端口P和所述第二输入端口Q间隔开偏移角Δθ，所述方法包含以下步骤：

通过所述第一输入端口和所述第二输入端口中相应的一个将分开时域相位差ΔΦ的相应微波信号引入所述圆柱形微波空腔中；

将所述偏移角Δθ和所述时域相位差ΔΦ的值调整至作为所述用户选择的TE模式或TM模式索引m、n和l中的至少两个的函数的值，以便在所述圆柱形微波空腔中生成模式TE_mnl或TM_mnl的旋转微波。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述函数定义为：

3.如权利要求2所述的方法，其中所述旋转微波以等于操作微波频率的旋转频率顺时针旋转。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述函数定义为：

5.如权利要求1所述的方法，其中所述函数定义为：

6.如权利要求5所述的方法，其中所述旋转微波以等于操作微波频率的旋转频率逆时针旋转。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述函数定义为：

8.如权利要求1所述的方法，其中所述相应的微波信号中的第一微波信号具有以下形式：

H_P∝cos(η+mθ-ωt)+cos(η+mθ+ωt)

其中ω是所述相应微波信号的角频率，而t是时间，并且η＝0或

9.如权利要求8所述的方法，其中所述相应的微波信号中的第二微波信号具有以下形式：

H_Q∝cos[η+m(θ-Δθ)-(ωt-Δφ)]+cos[η+m(θ-Δθ)+(ωt-Δφ)]

其中ω是所述微波信号的角频率，而t是时间，并且η＝0或

10.一种在等离子体反应器的圆柱形微波空腔中生成具有旋转频率Ω_α的旋转微波的方法，在所述等离子体反应器中包含覆盖在工件处理腔室上的所述圆柱形微波空腔，以及在所述圆柱形微波空腔的侧壁中的第一输入端口和第二输入端口，所述第一输入端口和所述第二输入端口间隔开通用角，所述方法包含以下步骤：

设定所述通用角以满足以下方程式：

将分别由以下方程式表示的微波场输入至输入端口P和输入端口Q：

其中r和s在以下方程式中定义：

并且在“r”中的符号判定旋转是逆时针还是顺时针。