[发明专利]用于至少一个对象的光学检测的检测器有效
申请号: | 201680019688.5 | 申请日: | 2016-01-28 |
公开(公告)号: | CN107438775B | 公开(公告)日: | 2022-01-21 |
发明(设计)人: | S·瓦鲁施;I·布鲁德;R·森德;C·朗根施密德;W·赫尔梅斯;E·蒂尔;S·伊尔勒 | 申请(专利权)人: | 特里纳米克斯股份有限公司 |
主分类号: | G01S7/481 | 分类号: | G01S7/481;H01L27/146;H01L27/30 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人: | 姜利芳;杨晓光 |
地址: | 德国路*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 至少 一个 对象 光学 检测 检测器 | ||
1.一种用于至少一个对象(112)的光学检测的检测器(110),包括:
至少一个纵向光学传感器(114),其中所述纵向光学传感器(114)具有至少一个传感器区域(130),其中所述纵向光学传感器(114)被设计成以取决于由光束(132)对所述传感器区域(130)的照射的方式生成至少一个纵向传感器信号,其中给定所述照射的相同总功率,所述纵向传感器信号取决于所述传感器区域(130)中所述光束(132)的束横截面(174),其中所述传感器区域(130)包括能够维持电流的至少一种材料,其中给定所述照射的相同总功率,所述材料的至少一个特性取决于所述传感器区域(130)中所述光束(132)的所述束横截面,其中所述纵向传感器信号取决于所述至少一个特性;以及
至少一个评估装置(140),其中所述评估装置(140)被设计成通过评估所述纵向光学传感器(114)的所述纵向传感器信号来生成关于所述对象(112)的纵向位置的至少一个信息项,
其中所述能够维持电流的至少一种材料是至少一种光导材料(134),其中给定所述照射的相同总功率,所述光导材料(134)的电导率取决于所述传感器区域(130)中所述光束(132)的所述束横截面(174),其中所述纵向传感器信号取决于所述电导率。
2.根据权利要求1所述的检测器(110),其中所述光导材料(134)是无机光导材料。
3.根据权利要求2所述的检测器(110),其中所述无机光导材料选自硒、碲、硒-碲合金、金属氧化物、IV族元素或化合物、III-V族化合物、II-VI化合物、磷属元素化物、硫属元素化物(136)及其固溶体和/或掺杂变体的无机光导材料
4.根据权利要求3所述的检测器(110),其中所述硫属元素化物(136)选自由如下组成的组:硫化物硫属元素化物、硒化物硫属元素化物、碲化物硫属元素化物、三元硫属元素化物、四元硫属元素化物、更多元的硫属元素化物,及其固溶体和/或掺杂变体。
5.根据权利要求4所述的检测器(110),其中所述硫属元素化物(136)选自由如下组成的组:硫化铅(PbS)、硫化铜铟(CIS)、硒化铜铟镓(CIGS)、硫化铜锌锡(CZTS)、硒化铅(PbSe)、硒化铜锌锡(CZTSe)、碲化镉(CdTe)、碲化汞镉(HgCdTe)、碲化汞锌(HgZnTe)、硫硒化铅(PbSSe)、铜锌锡硫硒硫属元素化物(CZTSSe),及其固溶体和/或掺杂变体。
6.根据权利要求3所述的检测器(110),其中所述磷属元素化物选自由如下组成的组:氮化物磷属元素化物、磷化物磷属元素化物、砷化物磷属元素化物、锑化物磷属元素化物、三元磷属元素化物、四元和更多元的磷属元素化物。
7.根据权利要求6所述的检测器(110),其中所述磷属元素化物选自由如下组成的组:氮化铟(InN)、氮化镓(GaN)、氮化铟镓(InGaN)、磷化铟(InP)、磷化镓(GaP)、磷化铟镓(InGaP)、砷化铟(InAs)、砷化镓(GaAs)、砷化铟镓(InGaAs)、锑化铟(InSb)、锑化镓(GaSb)、锑化铟镓(InGaSb)、磷化铟镓(InGaP)、砷磷化镓(GaAsP)和磷化铝镓(AlGaP)。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的检测器(110),其中所述光导材料(134)包括掺杂硅,其中所述掺杂硅表现出1013cm-3或更小的掺杂剂浓度,5·102Ω·cm或更大的电阻率,以及500μm或以下的厚度。
9.根据权利要求8所述的检测器(110),其中,所述掺杂硅作为浮区晶片。
10.根据权利要求1-7中任一项所述的检测器(110),其中所述光导材料(134)被提供为胶体膜(262),其中所述胶体膜(262)包括量子点(264)。
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