[发明专利]用于离子源的集成提取电极操纵器

权利要求书

1.一种具有集成提取电极系统的模块化离子源，包括：

离子源室，电连接到电压电位，其中所述离子源室包括提取孔；

提取电极系统，定位成靠近所述离子源室的提取孔的提取电极系统，其中所述提取电极系统被配置为经由一个或多个提取电极从所述离子源室提取离子；

一个或多个连杆，可操作地连接到所述离子源室；

一个或多个绝缘体，将所述提取电极系统连接到相应的一个或多个连杆，其中所述一个或多个绝缘体使相应的一个或多个连杆与所述提取电极系统电绝缘，其中使所述提取电极系统与所述离子源室电绝缘；以及

一个或多个致动器，可操作的将所述一个或多个连杆连接到所述离子源室，其中所述一个或多个致动器被配置为使所述一个或多个连杆相对于所述离子源室平移，其中所述提取电极沿着一个或多个轴线平移；

其中，所述离子源室和提取电极经由所述连杆和多个绝缘体机械连接，其中所述一个或多个致动器电连接到所述离子源室。

2.根据权利要求1所述的模块化离子源，其中所述连杆包括至少一个间隙控制连杆和至少一个角度控制连杆，并且其中所述致动器包括间隙控制致动器和角度控制致动器，其中所述间隙控制致动器可操作地连接到所述离子源室并且被配置为使所述至少一个间隙控制连杆相对于所述离子源室沿第一轴线线性平移，并且其中所述角度控制致动器可操作地连接到所述离子源室并且被配置为使所述至少一个角度控制连杆相对于所述离子源室沿着第二轴线线性地平移，其中所述第一轴线和第二轴线平行并间隔开预定距离。

3.根据权利要求2所述的模块化离子源，还包括：

线性平移台，包括：

基座，固定地连接到所述离子源室；以及

平台，与所述基座线性滑动接合，其中所述至少一个间隙控制连杆固定地连接到所述平台；以及

框架，可操作地连接到所述平台，其中所述间隙控制致动器被配置为使所述平台和框架平行于所述第一轴线线性平移，其中所述至少一个间隙控制连杆沿着所述第一轴线线性地平移。

4.根据权利要求3所述的模块化离子源，其中所述角度控制致动器固定地连接到所述平台，其中所述间隙控制致动器还被配置成使所述角度控制致动器平行于所述第一轴线线性平移，其中使所述至少一个角度控制连杆沿着所述第二轴线进一步线性平移。

5.根据权利要求3所述的模块化离子源，其中所述离子源室包括与所述提取孔径向对置的凸缘，其中所述凸缘包括面向所述提取孔的内侧和与所述内侧相对的外侧，并且其中所述线性平移台和框架可操作地连接到所述凸缘的外侧。

6.根据权利要求5所述的模块化离子源，其中所述基座固定地连接到所述凸缘的外侧。

7.根据权利要求5所述的模块化离子源，其中所述凸缘包括从所述凸缘的内侧到外侧延伸穿过所述凸缘的一个或多个通道，其中所述至少一个间隙控制连杆和至少一个角度控制连杆通过所述凸缘的一个或多个通道。

8.根据权利要求7所述的模块化离子源，还包括波纹管，所述波纹管分别将所述凸缘连接到所述至少一个间隙控制连杆和至少一个角度控制连杆中的每一个，其中所述波纹管在所述凸缘的内侧和与所述凸缘的外侧相关联的环境之间提供密封。

9.根据权利要求7所述的模块化离子源，其中所述至少一个间隙控制连杆和至少一个角度控制连杆与所述一个或多个通道滑动接合。

10.根据权利要求3所述的模块化离子源，包括具有多个基座和多个平台的多个线性平移台，其中所述框架固定地连接到所述多个平台中的每一个。

11.根据权利要求3所述的模块化离子源，其中所述框架沿着倾斜轴线可旋转地连接到所述平台，其中所述至少一个间隙控制连杆沿着所述倾斜轴线固定地连接到所述框架，并且其中所述倾斜轴线垂直于所述第一轴线。