[发明专利]用于托持、定位和移动物体的装置有效
申请号: | 201680020772.9 | 申请日: | 2016-04-01 |
公开(公告)号: | CN107567654B | 公开(公告)日: | 2020-11-06 |
发明(设计)人: | C·克莱森;克里斯蒂安·埃曼 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;F16C32/04 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 定位 移动 物体 装置 | ||
1.一种用于托持、定位和/或移动物体(52)的装置,所述装置具有
-基座(30)和具有相对于所述基座(30)移动的载体(50),
-至少一个磁性轴承(10、100、200),用于在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生承载力或托持力(Hv、Hh),其中经由所述磁性轴承(10、100、200)在所述基座(30)上无接触地支撑所述载体(50),
-至少一个驱动器(40、140),所述至少一个驱动器(40、140)无接触地作用于所述基座(30)与所述载体(50)之间,以在至少一个输送方向(T)上使所述载体(50)沿所述基座(30)位移,
-其中所述驱动器(40、140)包含具有至少一个滑块(41、141)和至少一个定子(43、143)的线性电动机(38),将所述滑块布置在所述载体(50)上且将所述定子布置在所述基座(30)上,并且除了沿所述输送方向(T)作用的位移力(V)之外,所述滑块和所述定子被构造成在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生反作用力(G),所述反作用力抵消所述承载力或托持力(Hv、Hh)。
2.如权利要求1所述的装置,其中所述至少一个磁性轴承(10、100、200)被构造为可主动控制的磁性轴承(10、100、200),并且包含与反作用件(18、118)磁性地相互作用的电性可控电磁体(12、112)、与所述电性可控电磁体(12、112)耦接并被构造成调整所述基座(30)和所述载体(50)的预定相对位置的距离传感器(20、120)和电子单元(15、115)。
3.如权利要求1所述的装置,其中至少一个磁性轴承(10)被构造为垂直磁性轴承(10)以产生抵消所述载体(50)的重力的垂直托持力(Hv)。
4.如权利要求2所述的装置,其中至少一个磁性轴承(10)被构造为垂直磁性轴承(10)以产生抵消所述载体(50)的重力的垂直托持力(Hv)。
5.如权利要求1至4中的任一项所述的装置,其中至少一个磁性轴承(100、200)被构造为水平磁性轴承,以在所述基座(30)与所述载体(50)之间产生水平作用的托持力(Hh)。
6.如权利要求5所述的装置,其中所述水平磁性轴承(100)包含布置在所述基座(30)或所述载体(50)上的至少一个电磁体(112),所述电磁体与布置在所述载体(50)或所述基座(30)上的反作用件(118)协作以使所述载体(50)在与所述输送方向(T)倾斜或正交的横贯方向(Q)上位移。
7.如权利要求6所述的装置,其中与所述水平磁性轴承(100)协作的所述反作用件(118)包含以交替方式极化并布置在所述载体(50)或所述基座(30)上的至少一排永磁体(118a、118b),所述永磁体在与所述输送方向(T)倾斜或正交的横贯方向(Q)上彼此间隔开。
8.如权利要求5所述的装置,其中所述水平磁性轴承(100、200)与所述载体(50)的上侧(51)或下侧(53)磁性地相互作用。
9.如权利要求1至4中的任一项所述的装置,其中所述至少一个磁性轴承(10、100、200)和所述驱动器(40、140)与所述载体(50)的彼此相对侧(51、53、55、57)磁性地相互作用。
10.如权利要求1至4中的任一项所述的装置,其中所述基座(30)包含在所述输送方向(T)或与所述输送方向(T)倾斜或正交的横贯方向(Q)上彼此间隔开的多个磁性轴承(10、100、200),所述磁性轴承相继磁性地与布置在所述载体(50)上的至少一个反作用件(18、118、218)进入操作性连接,以在所述输送方向(T)或所述横贯方向(Q)上沿所述基座(30)移动所述载体(50)。
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