[发明专利]具有改善的蓝宝石移除速率和表面粗糙度的基于金刚石的浆料在审
| 申请号： | 201680021319.X | 申请日： | 2016-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN107438647A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | P.潘迪;B.瑞斯;M.怀特 | 申请（专利权）人： | 嘉柏微电子材料股份公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 宋莉,孙梵 |
| 地址： | 美国伊*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 改善 蓝宝石 速率 表面 粗糙 基于 金刚石 浆料 | ||
1.化学机械抛光组合物，包含：
(a)金刚石研磨剂；
(b)pH调节化合物；
(c)任选地，抛光添加剂；以及
(d)液体介质，包含水、能够溶于水的有机化合物、或者其组合。
2.权利要求1的组合物，其中，所述金刚石研磨剂具有至少1μm的平均尺寸。
3.权利要求1的组合物，其中，所述金刚石研磨剂具有约2μm～约4μm的平均尺寸。
4.权利要求1的组合物，其中，所述pH调节化合物为酸。
5.权利要求1的组合物，其中，所述pH调节化合物为碱。
6.权利要求1的组合物，其中，所述液体介质为能够溶于水的有机化合物。
7.权利要求1的组合物，其中，所述液体介质为二醇。
8.权利要求1的组合物，其中，所述液体介质为蒸馏水。
9.权利要求1的组合物，其中，存在所述抛光添加剂。
10.权利要求9的组合物，其中，所述抛光添加剂选自表面活性剂、聚合物、螯合剂或络合剂、及其组合。
11.权利要求9的组合物，其中，所述抛光添加剂为二烯丙基二甲基氯化铵与丙烯酸的共聚物。
12.权利要求9的组合物，其中，所述抛光添加剂为麦芽酚。
13.权利要求1的组合物，进一步包含平均粒度比所述金刚石研磨剂的小的第二金刚石研磨剂。
14.用于抛光蓝宝石基材的化学机械抛光方法，所述方法包括：
(i)使蓝宝石基材与抛光垫及权利要求1的抛光组合物接触：
(ii)相对于所述基材移动所述抛光垫和所述抛光组合物，从而磨除所述基材的至少一部分以抛光所述基材。
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