[发明专利]用于对多晶硅颗粒进行分级和除尘的设备和方法

权利要求书

1.用于对多晶硅颗粒进行分级和除尘的方法，其中将所述多晶硅颗粒送入筛分装置中，利用一个或多个筛面将所述多晶硅颗粒划分成两个或更多个粒级，其特征在于，在该筛分装置中通过所述多晶硅颗粒的抛掷运动由所述多晶硅颗粒分离出粘附的粉尘微粒，其中利用送入该筛分装置中的气流将分离出的粉尘微粒由该筛分装置排出，其中该筛分装置具有气密性设计，送入和导出气流使得该筛分装置相对于环境处于正压，并且其中所述筛分装置包括盖和底部，并且在筛分过程中在该筛分装置的所述盖上均匀地注入气流，由此将粉尘微粒在相对于多晶硅颗粒和气流的同向流中输送至位于该筛分装置的所述底部的排出口，并且将所述粉尘微粒作为分离的粒级在该筛分装置的底部排出。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，利用控制单元，在所述筛分装置中设定相对于所述环境的恒定的正压。

3.根据权利要求1和2之一所述的方法，其特征在于，利用计量单元将所述多晶硅颗粒送入所述筛分装置中。

4.根据权利要求1和2之一所述的方法，其特征在于，将气体经由过滤垫导入所述筛分装置中。

5.根据权利要求1和2之一所述的方法，其特征在于，在所述筛分装置中，平均气体流速为0.1至0.4m/s。

6.根据权利要求1和2之一所述的方法，其特征在于，所述筛分装置相对于所述环境处于5至50mbar的正压。

7.根据权利要求1和2之一所述的方法，其特征在于，送入的气流的体积流量在标准条件下基于所述筛分装置的每单位筛面为至少200m³/(h m²)。

8.用于对多晶硅颗粒进行分级和除尘的设备，包括具有整合的多晶硅颗粒除尘作用的筛分装置、用于将多晶硅颗粒送入该筛分装置中的单元、一个或多个筛面、利用注入该筛分装置中的气流排出粉尘微粒的排出区域，其特征在于，该筛分装置具有气密性设计，并且其中该筛分装置相对于环境处于正压，并且其中所述筛分装置包括盖和底部，并且在筛分过程中在该筛分装置的所述盖上均匀地注入气流，由此将粉尘微粒在相对于多晶硅颗粒和气流的同向流中输送至位于该筛分装置的所述底部的排出口，并且将所述粉尘微粒作为分离的粒级在该筛分装置的底部排出。