[发明专利]用于光学纤维连接的方法和设备有效
申请号: | 201680021973.0 | 申请日: | 2016-04-11 |
公开(公告)号: | CN107533195B | 公开(公告)日: | 2021-01-15 |
发明(设计)人: | 吕中良;陈涛;F·J·贝里奥斯;张家宗 | 申请(专利权)人: | ASML控股股份有限公司 |
主分类号: | G02B6/26 | 分类号: | G02B6/26;G03F7/20;G03F9/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 王茂华;吕世磊 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 光学 纤维 连接 方法 设备 | ||
1.一种用于光学耦合光学部件的系统,包括:
第一部件,包括透镜琢面,所述透镜琢面被配置为朝向焦点会聚辐射;和
第二部件,被光学耦合至所述第一部件,所述第二部件包括锥形琢面,所述锥形琢面和所述透镜琢面彼此间隔开,使得来自所述透镜琢面的已会聚的或者正在会聚的所述辐射与由所述锥形琢面诱导的局部倏逝波的形状匹配,以便在所述第一部件与所述第二部件之间建立倏逝波耦合,
其中在所述透镜琢面与所述锥形琢面之间的间隙大于0,且小于或等于100μm。
2.根据权利要求1所述的系统,其中所述第一光学部件和/或所述第二光学部件包括光学纤维。
3.根据权利要求2所述的系统,其中所述第一光学部件和/或所述第二光学部件包括光子晶体光纤。
4.根据权利要求3所述的系统,其中所述第一光学部件和所述第二光学部件包括光子晶体光纤。
5.根据权利要求2至4中的任一项所述的系统,其中所述透镜琢面的透镜半径小于或等于从所述光纤的芯的中心到所述芯的外周缘的距离。
6.根据权利要求2至4中的任一项所述的系统,其中所述透镜琢面的透镜半径大于从所述光纤的芯的中心到所述芯的外周缘的距离。
7.根据权利要求2至4中的任一项所述的系统,其中所述光纤是单模光纤。
8.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述锥形琢面的前琢面位于所述透镜琢面的大约焦点位置处。
9.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述锥形琢面的前琢面尺寸大于或等于0,且小于或等于100nm。
10.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述透镜琢面是附接至所述第一光学部件的、相对于所述第一光学部件的单独的结构。
11.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述透镜琢面与所述第一光学部件是一体的。
12.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述锥形琢面是附接至所述第二光学部件的、相对于所述第二光学部件的单独的结构。
13.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述锥形琢面与所述第二光学部件是一体的。
14.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中通过连接的辐射的光谱宽度是400nm或更大。
15.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中通过连接的辐射在500nm至900nm的范围内。
16.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中在所述锥形琢面内的波传播通过全内反射被约束在锥内。
17.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述锥形琢面的长度大于0,且小于或等于100μm。
18.根据权利要求1至4中的任一项所述的系统,其中所述透镜琢面的周缘和所述锥形琢面的周缘是圆形的。
19.一种光谱加宽的辐射设备,包括:
激光器,被配置成通过所述激光器的输出发出辐射;
光学纤维,被光学耦合至所述激光器的所述输出,所述光学纤维具有输入以接收来自所述激光器的所述辐射并且具有输出以提供光谱加宽的输出辐射,所述光学纤维被配置成将来自所述激光器的所述辐射光谱加宽至在标称波长周围至少0.5nm的光谱宽度;和
根据权利要求1至18中的任一项所述的系统。
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