[发明专利]热处理装置

权利要求书

1.一种热处理装置，具有：

热处理室，容纳被处理物；

冷却气体供给装置，将冷却气体供给至所述热处理室内；

冷却气体循环装置，使所述冷却气体在所述热处理室内循环，

其特征在于，所述冷却气体循环装置具有：叶轮，设置在所述热处理室内；旋转轴，贯通所述热处理室的壁部，与所述叶轮连接；电机，设置在所述热处理室外，使所述旋转轴旋转，

所述冷却气体供给装置使用氢气作为所述冷却气体供给至所述热处理室，

所述热处理装置具有气体吹扫装置，利用惰性气体对至少所述电机的容纳转子以及定子的壳体内进行气体吹扫。

2.如权利要求1所述的热处理装置，其特征在于，所述气体吹扫装置具有：第1气体吹扫管，将惰性气体供给至所述电机内；气体吹扫室，至少包围所述电机；第2气体吹扫管，将惰性气体供给至所述气体吹扫室内。

3.如权利要求2所述的热处理装置，其特征在于，所述气体吹扫室包围所述电机以及所述热处理室。

4.如权利要求1～3中的任一项所述的热处理装置，其特征在于，具有设置在所述旋转轴的周围并对所述热处理室与所述电机之间进行密封的密封部件。

5.如权利要求1～3中的任一项所述的热处理装置，其特征在于，具有对供给至所述热处理室内的氢气进行回收的氢气回收装置。

6.如权利要求4所述的热处理装置，其特征在于，具有对供给至所述热处理室内的氢气进行回收的氢气回收装置。

7.如权利要求5所述的热处理装置，其特征在于，所述氢气回收装置具有第1回收容器，用于通过均压操作来回收所述热处理室内的氢气。

8.如权利要求7所述的热处理装置，其特征在于，所述氢气回收装置还具有第2回收容器，用于在所述均压操作之后通过真空泵的驱动来回收所述热处理室内的所述氢气。

9.如权利要求7或权利要求8所述的热处理装置，其特征在于，具有压缩机，对回收至所述第1以及/或者第2回收容器的氢气进行升压，并将所述氢气作为所述冷却气体供给至所述冷却气体供给装置。