[发明专利]膜片式促动器

权利要求书

1.一种膜片式促动器，该膜片式促动器将工作杆沿上述工作杆的轴线方向驱动，其特征在于，具备：

膜片，该膜片与上述工作杆连结；

高压室，该高压室与上述膜片的上述轴线方向上的一端侧邻接；

低压室，该低压室与上述膜片的上述轴线方向上的另一端侧邻接；

复位弹簧，该复位弹簧设置于上述低压室，并对上述膜片向上述高压室侧施力；以及

吸收部，该吸收部设置于上述高压室的与上述膜片对置的壁面，

上述吸收部具备弹性部件，该弹性部件设置于上述高压室的与上述膜片对置的上述壁面，并在上述轴线方向上与上述膜片对置地配置，

上述弹性部件具备：配置于上述另一端侧的第一弹性部；以及配置于上述一端侧的第二弹性部，

上述弹性部件是以沿着上述轴线方向的方式配置的压缩螺旋弹簧，

上述第一弹性部的弹簧系数比上述第二弹性部的弹簧系数低。

2.一种膜片式促动器，该膜片式促动器将工作杆沿上述工作杆的轴线方向驱动，其特征在于，具备：

膜片，该膜片与上述工作杆连结；

高压室，该高压室与上述膜片的上述轴线方向上的一端侧邻接；

低压室，该低压室与上述膜片的上述轴线方向上的另一端侧邻接；

复位弹簧，该复位弹簧设置于上述低压室，并对上述膜片向上述高压室侧施力；以及

吸收部，该吸收部设置于上述高压室的与上述膜片对置的壁面，

上述吸收部具备弹性部件，该弹性部件设置于上述高压室的与上述膜片对置的上述壁面，并在上述轴线方向上与上述膜片对置地配置，

上述弹性部件是沿上述轴线方向配置的压缩螺旋弹簧，

上述压缩螺旋弹簧形成为随着从上述一端侧趋向上述另一端侧而螺旋的外径变小，

配置于上述另一端侧的第一螺旋配置在比与上述第一螺旋的上述一端侧邻接的第二螺旋靠径向内侧的位置。

3.根据权利要求1或2所述的膜片式促动器，其中，

在上述工作杆的上述一端侧，设置有从上述膜片向上述高压室的内部突出的突出部。

4.根据权利要求3所述的膜片式促动器，其中，

上述吸收部具备在上述轴线方向上与上述突出部对置地配置的吸收膜。

5.根据权利要求3所述的膜片式促动器，其中，

在上述高压室的与上述膜片对置的上述壁面，形成有上述突出部能够进入的凹部，

上述吸收部配置在上述凹部。

6.根据权利要求4所述的膜片式促动器，其中，

在上述高压室的与上述膜片对置的上述壁面，形成有上述突出部能够进入的凹部，

上述吸收部配置在上述凹部。