[发明专利]电解铜镀液组合物及其用法

权利要求书

1.一种用于铜或铜合金的沉积的水性酸性铜镀液，其包含至少一种铜离子源和至少一种酸，特征在于所述镀液还包含至少一种胍化合物，该胍化合物含有式(I)的至少一种单元：

其中a是1至40的整数，A表示来自于下式(A1)和/或(A2)的单体的单元：

其中

-Y和Y’各自选自CH₂、O和S；

-R¹是选自氢、烷基、芳基和烷芳基的有机残基；

-R²是选自氢、烷基、芳基和烷芳基的有机残基；

-R³、R⁴、R⁵和R⁶各自是彼此独立地选自氢、烷基、芳基和烷芳基的有机残基；

-b和b’是各自并彼此独立地在0至6的整数；

-c和c’是各自并彼此独立地在1至6的整数；

-d和d’是各自并彼此独立地在0至6的整数；

-e和e’是各自并彼此独立地在0至6的整数；

-D是二价残基并选自-Z¹-[Z²-O]_g-Z³-、-[Z⁴-O]_h-Z⁵-、-CH₂-CH(OH)-Z⁶-[Z⁷-O]_i-Z⁸-CH(OH)-CH₂-；

其中

-Z¹是具有1至6个碳原子的亚烷基；

-Z²选自具有1至6个碳原子的亚烷基、芳基取代的包含1至6个碳原子的亚烷基、以及上述基团的混合物；

-Z³是具有1至3个碳原子的亚烷基；

-Z⁴选自具有1至6个碳原子的亚烷基、芳基取代的包含1至6个碳原子的亚烷基、以及上述基团的混合物；

-Z⁵是具有1至3个碳原子的亚烷基；

-Z⁶是具有1至6个碳原子的亚烷基；

-Z⁷选自具有1至6个碳原子的亚烷基、芳基取代的包含1至6个碳原子亚烷基、以及上述基团的混合物；

-Z⁸是具有1至3个碳原子的亚烷基；

-g是1至100的整数；

-h是1至100的整数；

-i是1至100的整数；并且

其中各个单元A彼此独立地被选择，各个单元D彼此独立地被选择，并且所述胍化合物是线性的和/或交联的，并且

所述水性酸性铜镀液不含锌离子。

2.根据权利要求1的水性酸性铜镀液，其特征在于所述胍化合物包含一个或多个式(I)的单元和一个或多个末端基团P¹和/或一个或多个末端基团P²，其中在式(I)的单元中，末端基团P¹结合到来自于式(A1)和/或(A2)的单体的单元A，以及末端基团P²结合到二价残基D，并且其中所述末端基团P¹选自

-

-

-和

-

其中各个基团Z¹至Z⁸以及g至i选自上面定义的基团，并且E是离去基团并选自三氟甲磺酸酯、全氟丁磺酸酯、烷基磺酸酯、芳基磺酸酯和卤化物，并且其中所述末端基团P²选自

-羟基(-OH)，

-来自于式(A1)和/或(A2)的单体的单元，

-离去基团E，

-和

-

其中所述各个基团E和式(A1)和/或(A2)的单体选自上面定义的基团。

3.根据权利要求2的水性酸性铜镀液，其特征在于所述胍化合物由式(I)的单元和末端基团P¹和/或P²构成。