[发明专利]具有以直接上转换对微波场的旋转频率进行的数字控制的等离子体反应器

权利要求书

1.一种等离子体反应器，包括：

圆柱形微波腔，所述圆柱形微波腔在工件处理腔室之上，及所述圆柱形微波腔的侧壁中的第一与第二耦接孔以一角度分隔开；

微波源，所述微波源具有微波频率且包括微波控制器，所述微波控制器具有耦接至所述第一与第二耦接孔中的相应耦接孔的相应的微波输出，所述微波控制器包含：

(a)第一与第二数字调制信号的源，所述第一与第二数字调制信号具有对应于慢速旋转频率的频率；

(b)第一数字载波信号的源，所述第一数字载波信号具有中频；

(c)乘法器级，所述乘法器级包含一对乘法器，该对乘法器中的各个乘法器具有一对输入，所述乘法器级经耦接以分别接收(a)所述第一数字调制信号、所述第二数字调制信号与所述第一数字载波信号，所述乘法器级具有相应的输出in1与in2；

(d)数字转模拟转换器，所述数字转模拟转换器经耦接以接收所述相应的输出in1与in2且具有对应于所述输出in1与in2的模拟输出；及上转换器，所述上转换器具有与所述模拟输出耦接的输入，所述上转换器将所述模拟输出上转换为所述微波输出。

2.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中：

该对乘法器中的第一个乘法器经耦接以接收所述第一数字调制信号与所述第一数字载波信号，且具有包含所述输出in1的第一乘法器输出；及

该对乘法器中的第二个乘法器经耦接以接收所述第二数字调制信号与所述第一数字载波信号，且具有包含所述输出in2的第二乘法器输出。

3.如权利要求1所述的等离子体反应器进一步包括所述中频的第二数字载波信号的源，其中：

所述第一数字载波信号的所述源耦接至所述输出in1；

该对乘法器中的第一个乘法器经耦接以接收所述第一数字调制信号与所述第一数字载波信号；

该对乘法器中的第二个乘法器经耦接以接收所述第二数字调制信号与所述第二数字载波信号，且具有包含所述乘法器输出in2的第二乘法器输出；及

其中所述乘法器级进一步包括加法器，所述加法器经耦接以接收该对乘法器的输出，所述加法器具有包含所述输出in2的输出。

4.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述第一与第二数字调制信号分别包括余弦形式分量I与正弦形式分量Q。

5.如权利要求4所述的等离子体反应器，其中第一与第二数字调制信号的所述源包括：

第一RAM、第二RAM与低时钟指针，所述第一RAM包含所述余弦形式分量I的连续取样，所述第二RAM包含所述正弦形式分量Q的连续取样，所述低时钟指针指向与所述慢速旋转频率同步的I与Q的所述连续取样。

6.如权利要求5所述的等离子体反应器，其中第一数字载波信号的所述源包括：

第三RAM与低时钟指针，所述第三RAM包含所述第一数字载波信号的连续取样，所述低时钟指针指向与所述中频同步的所述第一数字载波信号的所述连续取样。

7.如权利要求2所述的等离子体反应器，其中所述上转换器具有等于所述微波频率的输出频率。

8.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中所述乘法器的各者产生其输入处的所述信号的乘积。

9.如权利要求1所述的等离子体反应器，其中所述角度是90度。

10.如权利要求1所述的等离子体反应器进一步包括用户接口，所述用户接口用于允许用户指定所述慢速旋转频率。