[发明专利]水冷二氧化碳激光器

权利要求书

1.激光器设备，包括：

细长的填充气体的谐振器腔，包括激光器-谐振器单元，谐振器单元包括陶瓷板；

细长的射频(RF)电源腔，包括用于在所述谐振器单元中激励气体的RF电源，RF电源具有安装在印刷电路板上的电子元件；和

其中陶瓷板和印刷电路板彼此平行对齐并且被细长的水冷散热器空间分隔开，散热器包括与印刷电路板和陶瓷板对齐的间隔开的通道，以及所述谐振器和电源单元与所述水冷散热器热交流。

2.权利要求1所述的设备，其中所述谐振器单元中的气体是包括二氧化碳的气体混合物。

3.权利要求1所述的设备，其中RF电源装配在印刷电路板(PCB)上，并且所述谐振器单元包括在其表面中具有至少一个波导-凹槽的陶瓷板，用于引导所述激光器的激光模式，以及其中所述PCB和所述陶瓷板与所述散热器热交流。

4.权利要求3所述的设备，其中所述谐振器单元的陶瓷板的波导-凹槽的表面面向所述散热器。

5.权利要求1所述的设备，其中所述散热器包括用于使水流过所述散热器以冷却所述散热器的蛇形管道。

6.权利要求5所述的设备，其中所述蛇形管道在所述散热器的平行于所述电源和所述谐振器腔、并且更靠近所述电源腔而不是所述谐振器腔的平面内。

7.权利要求5所述的设备，其中所述蛇形管道平面与所述电源和所述谐振器腔的距离被选择为使得所述激光器设备是热机械中性的。

8.权利要求1所述的设备，包括由单片铝形成的细长壳体，所述壳体包括限定谐振器隔室的下腔室，所述壳体还包括限定电源隔室的上腔室。

9.根据权利要求8所述的设备，其中散热器中的水道被加工到铝中。

10.根据权利要求5所述的设备，其中所述蛇形管道包括多个纵向通道和多个横向通道，所述多个横向通道提供相邻的纵向通道和位于纵向和横向通道中不同位置的塞子之间的连通，从而以蛇形方式引导流动。

11.权利要求1所述的设备，还包括通道中的管子。