[发明专利]多集成尖端扫描探针显微镜

权利要求书

1.一种使扫描探针适配器中的至少两个探针尖端对齐的方法，所述方法包括以下步骤：

提供包括至少两个探针尖端的探针头部；

将样本和所述至少两个探针尖端移动成邻近；

使用光学显微镜来捕捉所述至少两个探针尖端的图像以及所述至少两个探针尖端的对应反射；

使用图像识别算法来跟踪所述至少两个探针尖端和所述对应反射的外线形状；

计算所述至少两个探针尖端中的每个的顶点和所述对应反射的顶点之间的距离；

比较计算出的距离以确定所述至少两个探针尖端中的哪个探针尖端，如果有的话，具有较短的计算距离；以及

如果所述至少两个探针尖端中的一个具有较短的计算距离，则旋转所述探针头部远离所述至少两个探针尖端中的具有较短的计算距离的任何一个，或者如果对所述至少两个探针尖端中的每个计算得到相等距离，则确定所述至少两个探针尖端对齐。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括重复所述方法、直到从所述至少两个探针尖端计算得到相等距离为止的步骤。