[发明专利]用于制造纳电子机械系统探针的系统和方法

权利要求书

1.一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，所述显微镜探针包括：

包括端子探针端的可移动探针尖端，其中所述可移动探针尖端包括贴附到支撑层的金属层，所述金属层在端子探针端处的至少部分延伸超过支撑层。

2.根据权利要求1所述的显微镜探针，进一步包括：

第一致动器，所述第一致动器被构造成使可移动探针尖端沿着第一轴移置；以及

检测组件，所述检测组件被构造成响应于施加的信号来检测可移动探针尖端的运动。

3.根据权利要求1所述的显微镜探针，其中所述金属是铂、金、钨或镍。

4.根据权利要求1所述的显微镜探针，其中所述支撑层是硅、二氧化硅或氮化硅。

5.根据权利要求1所述的显微镜探针，其中所述显微镜探针包括其中每个包括端子探针端的多个探针尖端，所述多个探针尖端中的每个进一步包括贴附到支撑层的金属层，所述金属层在端子探针端处的至少部分延伸超过支撑层。

6.根据权利要求5所述的显微镜探针，进一步包括定位在所述多个探针尖端中的每个之间的绝缘叉指式结构。

7.一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，所述显微镜探针包括：

多个探针尖端；以及

绝缘叉指式结构，所述绝缘叉指式结构定位在所述多个探针尖端中的每个之间。

8.根据权利要求7所述的显微镜探针，进一步包括：第一致动器，所述第一致动器被构造成使所述多个探针尖端中的至少一个沿着第一轴移置；以及检测组件，所述检测组件被构造成响应于施加的信号来检测所述多个探针尖端中的所述至少一个的运动。

9.一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，所述显微镜探针包括：

第一探针尖端；以及

第二探针尖端，所述第二探针尖端定位在离第一探针尖端第一距离处，其中所述第二探针尖端垂直定位在第一探针尖端的下面。

10.根据权利要求9所述的显微镜探针，进一步包括：第一致动器，所述第一致动器被构造成使第一探针尖端和第二探针尖端中的至少一个沿着第一轴移置；以及检测组件，所述检测组件被构造成响应于样本来检测第一探针尖端和第二探针尖端中的所述至少一个的运动。

11.根据权利要求9所述的显微镜探针，其中所述第一探针尖端和第二探针尖端包括金属。

12.根据权利要求11所述的显微镜探针，其中所述第一探针尖端和第二探针尖端包括相同的金属。

13.根据权利要求11所述的显微镜探针，其中所述第一探针尖端和第二探针尖端包括不同的金属。

14.一种被构造成对样本进行分析的显微镜探针，所述显微镜探针包括：

可移动探针尖端，所述可移动探针尖端由基板支撑；

第一致动器，所述第一致动器被构造成使可移动探针尖端沿着第一轴移置；和

检测组件，所述检测组件被构造成响应于施加的信号来检测可移动探针尖端的运动；

谐振器，所述谐振器被构造成当探针处于振动模式时振动；以及

电容器，所述电容器贴附到基板。

15.一种用于使用显微镜探针对样本进行分析的方法，所述方法包括以下步骤：

提供显微镜探针，所述显微镜探针包括：(i)可移动探针尖端，所述可移动探针尖端由基板支撑；(ii)谐振器，所述谐振器被构造成当探针处于振动模式时振动；以及(iii)电容器，所述电容器贴附到基板上；

从电容器接收电流；

从谐振器接收电流；

将来自电容器的电流和来自谐振器的电流电组合；以及

使用电组合的电流来改进样本分析的信噪比。