[发明专利]光瞳分面反射镜

说明书

本发明的目的为改善投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜。本发明的本质是形成具有不同尺寸的光瞳分面(29)的光瞳分面反射镜。光瞳分面(29)尤其还可具有不同形式。光瞳分面的至少一子集可具有规则形式。它们尤其具有不同长度的侧边缘。它们可尤其具有不规则多边形的形式。

相关申请的交叉引用

通过引用将德国专利申请DE 10 2015 209 175.9的内容并入本文。

技术领域

本发明涉及投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜。本发明还涉及确定光瞳分面反射镜的设计的方法。此外，本发明涉及用于具有对应光瞳分面反射镜的投射曝光设备的照明光学单元、涉及具有这种照明光学单元的照明系统和光学系统，以及涉及具有对应照明光学单元的投射曝光设备。最后，本发明涉及制造微结构或纳米结构部件的方法以及涉及根据该方法所制造的部件。

背景技术

具有分面反射镜的照明光学单元已揭露于例如US 2011/0001947 A1、US 2013/0335720 A1和US 6,859,328 B2。

发明内容

本发明的目的为改善投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜。此目的通过一种投射曝光设备的照明光学单元的光瞳分面反射镜光瞳分面反射镜来实现，该光瞳分面反射镜包含：多个反射镜元件，具有多边形单独反射表面；所述单独反射表面中的至少两个单独反射表面具有不同的形式和/或尺寸；以及所述反射镜元件的至少一子集具有不规则形式。本发明的本质在于形成具有不同尺寸的光瞳分面的光瞳分面反射镜。光瞳分面特别地也可具有不同的形式(form)。光瞳分面的至少一子集(subset)可具有不规则的形式。特别地，其具有不同长度的侧边缘。特别地，其可具有不规则多边形的形式。

在将光瞳分面形成为n边形(n-gon)(即具有n角反射表面)的情况中，反射表面的形式具有m重(m-fold)反射对称性，其中m＜n。反射表面的形式可特别地仅具有简单的一重旋转对称性。在六边形光瞳分面的情况中，形式可特别地具有一重、二重或三重旋转对称性。

根据本发明的一个方面，具有这种不规则形式的光瞳分面的子集包含特别是至少10％、特别是至少20％、特别是至少30％、特别是至少40％、特别是至少50％、特别是至少60％、特别是至少70％、特别是至少80％、特别是至少90％的光瞳分面。也可能将所有光瞳分面形成为不规则形式。也可能指定具有不规则形式的光瞳分面的数量的上限。上限可例如为90％、80％、70％、60％、50％、40％、30％、20％或10％。

根据本发明，已认识到可通过将光瞳分面的尺寸和/或形式适配至斑点形式(spotform)(即由第一分面反射镜的分面在光瞳分面反射镜的分面上产生的辐射源的像的形式)而降低、特别是最小化、特别是避免光瞳分面反射镜的分面的过度曝光。这允许最大化照明系统的传输。也有可能以此方式改善照明系统的稳定性，特别是关于操作期间的可能偏移。

光瞳分面反射镜一词主要用于与在照明辐射的光束路径中布置于前的照明光学单元的第一分面反射镜区分，其也称作场分面反射镜。第一分面反射镜优选布置于照明光学单元与物场共轭的场平面中。然而，第一分面反射镜也可布置为与此场平面相距一距离。第一分面反射镜优选布置在对应场平面的附近。

光瞳分面反射镜(其一般称作第二分面反射镜)优选布置于照明光学单元的光瞳平面中。它也可布置为与此光瞳平面相距一距离。然而，它优选近瞳(pupil-near)布置。近瞳一词的更准确、量化的定义可参考DE 10 2012 216 502 A1。

光瞳分面反射镜的反射镜元件(其也称作光瞳分面)特别是刚性地布置。不需有用于位移反射镜元件的致动机构。因此，光瞳分面反射镜的结构将大大的简化。