[发明专利]热处理装置

说明书

本发明特征在于便宜地处理氮化处理后的废气所包含的氨气，无需通过燃烧或使用吸附剂进行吸附等。本公开内容的真空渗碳处理装置(A)具有：加热炉(1)，对被处理物(W)进行加热；氨气供给装置(2)，将用于对被处理物(W)进行氮化处理的氨气供给至加热炉(1)；热分解炉(3)，对在氮化处理后从加热炉(1)排出的氨气进行热分解。

技术领域

本公开内容涉及热处理装置。

本申请基于2015年5月1日在日本申请的特愿2015－094167号主张优先权，在此引用其内容。

背景技术

在被处理物的表面需要硬度的情况下，一般会进行渗碳处理等。此外，在需要更大的硬度的情况下，存在对表面进行氮化处理的情况。作为进行这样的氮化处理的热处理装置，公知有例如下述专利文献1所述的真空渗碳处理装置。在该真空渗碳处理装置中，进行供给乙炔等的渗碳用气体的渗碳处理以及使渗碳用气体的碳在被处理物的表面扩散的扩散处理，在该扩散处理中供给氮化气体，在被处理物的表面形成氮化层，提高被处理物的表面硬度或耐磨损性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国专利第5577573号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

但是，作为氮化处理的氮化气体，经常使用氨气。氨气是刺激性较强的毒性物质，在氮化处理后，需要妥当地处理从加热炉排出的氨气。从以往就进行使氨气燃烧的燃烧法来作为氨的处理方法。因为在燃烧法中存在燃烧废气的限制的问题等，所以近年来进行如下等的处理，使燃烧后的氨气溶入水中或者利用吸附材料进行吸附。但是，进行这些处理的设备的操作成本非常地高。

本公开内容鉴于上述问题而提出，目的在于提供一种热处理装置，能够便宜地处理氮化处理用中使用的氨气。

用于解决上述技术问题的手段

为了解决上述技术问题，本公开内容的第1方案的热处理装置，具有：加热炉，加热被处理物；氨气供给装置，将用于对被处理物进行氮化处理的氨气供给至加热炉；热分解炉，对在氮化处理后从加热炉排出的氨气进行热分解。

发明效果

在本公开内容中，将热分解炉与进行氮化处理的加热炉并列设置，利用热分解炉热分解在氮化处理后从加热炉排出的氨气。因为热分解炉是通过加热分解氨气的，所以不会出现燃烧废气，此外，无需替换或补充对氨气进行处理的水或吸附材料等。

因此，根据本公开内容，得到能够便宜地进行氨气的处理的热处理装置。

附图说明

图1是示出本公开内容的第1实施方式的真空渗碳处理装置的概略构成的方框图。

图2是示出本公开内容的第1实施方式的真空渗碳处理与氮化处理的处理时间与处理温度的分布的图。

图3是示出本公开内容的第1实施方式的热分解炉的构成的纵剖视图。

图4A是本公开内容的第2实施方式的反应物的纵剖视图。

图4B是本公开内容的第2实施方式的反应物的仰视图。

图5A是本公开内容的第3实施方式的反应物的纵剖视图。

图5B是本公开内容的第3实施方式的反应物的仰视图。

具体实施方式

以下，参照附图对本公开内容的实施方式进行说明。另外，在以下的说明中，例示真空渗碳处理装置作为本公开内容的热处理装置。

(第1实施方式)