[发明专利]三维测量装置

权利要求书

1.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；

拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；

图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成多组并在该各光图案之下拍摄的所述测量区域相关的多组图像；以及

图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，

所述图像获取单元获取相位不同的多组图像时，能够针对一个所述测量区域在相同相位的光图案之下分多次执行拍摄，并且，

能够将针对一个所述测量区域在该相同相位的光图案之下的拍摄方式切换成至少拍摄次数不同的多个拍摄方式，

而且可以根据在所述测量区域内所包含的所述测量对象的面积、体积、周长、短边长度值或者在测量区域内包含的测量对象的属性来切换拍摄方式。

2.根据权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，包括：

设定单元，所述设定单元能够基于外部操作设定所述拍摄方式或者其切换条件。

3.根据权利要求2所述的三维测量装置，其特征在于，包括：

预定时间显示单元，所述预定时间显示单元能够显示在由所述设定单元设定的所述拍摄方式或者其切换条件下测量所述被测量物所需的预定时间。

4.根据权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，

能够变更通过所述拍摄单元进行的一次拍摄中的拍摄时间。

5.根据权利要求1所述的三维测量装置，其特征在于，

能够根据通过所述拍摄单元进行的一次拍摄中的拍摄时间来变更所述照射单元的照射亮度。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的三维测量装置，其特征在于，

所述测量对象是印刷在作为所述被测量物的印刷基板上的膏状焊料，或者是形成在作为所述被测量物的晶圆基板上的焊料凸起。

7.一种三维测量装置，其特征在于，包括：

照射单元，所述照射单元能够向被测量物照射具有条纹状的光强度分布的光图案；

拍摄单元，所述拍摄单元能够拍摄被照射所述光图案的所述被测量物上的预定的测量区域；

图像获取单元，所述图像获取单元能够获取使所述光图案的相位变化成多组并在该各光图案之下拍摄的所述测量区域相关的多组图像；以及

图像处理单元，所述图像处理单元能够根据由所述图像获取单元获取的图像通过相移法对所述测量区域内的测量对象执行三维测量，

所述图像获取单元获取相位不同的所述多组图像时，至少能够针对一个所述测量区域在相同相位的光图案之下进行一次拍摄的拍摄方式和针对一个所述测量区域在相同相位的光图案之下分多次进行拍摄的拍摄方式之间切换，

而且可以根据在所述测量区域内所包含的所述测量对象的面积、体积、周长、短边长度值或者在测量区域内包含的测量对象的属性来切换拍摄方式。

8.根据权利要求7所述的三维测量装置，其特征在于，

所述测量对象是印刷在作为所述被测量物的印刷基板上的膏状焊料，或者是形成在作为所述被测量物的晶圆基板上的焊料凸起。