[发明专利]确定细分误差的方法

权利要求书

1.一种确定编码器装置的细分误差的方法，所述编码器装置被配置为测量其上安装有检查设备的装置的相对可移动部件的位置，所述方法包括：

使得所述检查设备检查特征以便获得所述特征的表面的测量结果，其包括相对移动所述装置的相对可移动部件；和

使用在所述特征的检查期间通过所述检查设备获得的所述特征的表面的测量结果来确定所述编码器装置的细分误差。

2.根据权利要求1所述的方法，还包括：确定用于校正所述编码器装置的细分误差的至少一个误差图。

3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述至少一个误差图包括查找表或函数。

4.根据权利要求2或3所述的方法，其中，所述误差图描述了所述细分误差的形式，并且其中，所述描述沿着所述编码器装置的测量范围而变化。

5.根据权利要求1所述的方法，包括：基于所述测量结果中的在至少一个预定空间频率处的周期性变化的属性来确定所述编码器装置的细分误差。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述属性包括在所述至少一个预定空间频率处的所述变化的振幅和相位偏移。

7.根据权利要求5或6所述的方法，其中，所述至少一个预定空间频率对应于所述编码器装置的标尺或信号周期，以及可选地其谐波。

8.根据权利要求1所述的方法，包括：确定所述编码器装置的测量范围中的不同区域的细分误差。

9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述装置包括至少一个旋转轴线，所述检查设备可围绕所述至少一个旋转轴线定向，并且所述编码器装置是用于测量所述检查设备围绕所述旋转轴线的取向的旋转编码器装置。

10.根据权利要求1所述的方法，其中所述检查设备包括接触式探头。

11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述接触式探头包括具有触针尖端的触针，并且其中，所述测量结果与触针尖端的位置测量结果有关。

12.根据权利要求1所述的方法，其中，其上安装有所述检查设备的所述装置包括坐标定位机。

13.根据权利要求1所述的方法，其中，所述编码器装置包括标尺和用于读取所述标尺的读取头。

14.一种计算机实现的方法，包括：接收由检查设备获得的特征的表面的测量结果，所述检查设备安装在其中含有编码器装置的装置上，特征的表面的所述测量结果来自所述编码器装置的输出，以及根据特征的表面的所述测量结果确定所述编码器装置的细分误差。

15.一种确定包括标尺和读取头的编码器装置的细分误差的方法，所述方法包括：

使所述标尺和所述读取头相对于彼此移动，并使用检查设备来获得特征的表面的测量结果，所述检查设备的位置由所述读取头的输出来确定；和

基于在通过所述检查设备获得的特征的表面的所述测量结果中的在至少一个预定空间频率处的周期性变化来确定所述编码器装置的细分误差。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述预定空间频率对应于所述读取头信号周期或标尺周期，以及可选地其谐波。

17.根据权利要求15或16所述的方法，还包括：生成用于校正所确定的细分误差的误差图。

18.一种计算机可读介质，其承载包括指令的计算机程序，当由装置的控制器执行时，所述指令使得所述装置执行根据权利要求1至17中任一项所述的方法。

19.一种测量装置，包括：被配置为测量所述测量装置的相对可移动部件的位置的编码器，以及检查设备，所述测量装置被配置为使所述检查设备检查特征以便获得所述特征的表面的测量结果，其包括相对移动所述测量装置的相对可移动部件，并使用在所述特征的检查期间通过所述检查设备获得的所述特征的表面的测量结果来确定所述编码器的细分误差。