[发明专利]校准尺寸测量设备的方法

权利要求书

1.一种进一步校准尺寸测量设备的方法，所述尺寸测量设备通过初始误差映射或误差函数被校准，

所述方法包括：

测量所述测量设备上的生产工件，所述生产工件是通过生产过程产生的第一系列标称相同工件中的一个；

比较所述生产工件的测量值与从所述测量设备外部的源获得的用于所述生产工件的校准值，以产生一个或多个误差值；

确定一个或多个经更新的误差映射或误差函数，所述经更新的误差映射或误差函数将所述误差值中的一些或全部与所述初始误差映射或所述初始误差函数中的全部或部分组合；

其特征在于：

确定所述经更新的误差映射或误差函数中的一个或多个是否比所述初始误差映射或误差函数更好地校正测量误差；以及

如果确定误差映射或误差函数会给出更好校正，接着就选择所述误差映射或误差函数以用于校正一个或多个另外的工件的测量值。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，通过将所述误差值中的仅一些与所述初始误差映射的全部或部分或与所述初始误差函数组合，或通过将所述误差值与所述初始误差映射的仅一部分组合，来确定一个或多个所述经更新的误差映射或误差函数。

3.根据权利要求1或权利要求2所述的方法，包含测量一个或多个另外的工件，并且使用所述选定的误差映射或误差函数校正所述一个或多个另外的工件的测量值。

4.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的方法，其中，所述一个或多个另外的工件包含来自所述第一系列标称相同工件的生产工件。

5.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的方法，其中，所述一个或多个另外的工件包含来自通过生产过程产生的第二系列标称相同工件的生产工件，其不同于所述第一系列的所述工件。

6.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的方法，进一步包含：

在所述测量设备上测量来自第二系列标称相同工件的生产工件；

比较来自所述第二系列的所述生产工件的测量值与从所述测量设备外部的源获得的用于所述生产工件的校准值，以产生一个或多个另外的误差值；

确定一个或多个另外的经更新的误差映射或误差函数，一个或多个所述另外的经更新的误差映射或误差函数将所述另外的误差值中的一些或全部与先前确定的误差映射或函数中的全部或部分组合；

确定所述另外的经更新的误差映射或误差函数中的一个或多个是否会给出比先前确定的误差映射或误差函数更好的对测量误差的校正；以及

如果确定误差映射或误差函数会给出更好校正，接着就选择所述误差映射或误差函数以用于校正一个或多个另外的工件的测量值。

7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第二系列的所述工件不同于所述第一系列的所述工件。

8.根据权利要求6所述的方法，其中，所述第二系列的所述工件与所述第一系列的所述工件位于所述设备上的不同位置。

9.根据前述权利要求中任一项权利要求所述的方法，其中，通过以下方式产生所述初始误差映射或误差函数：在所述测量设备上测量生产工件；以及比较所述生产工件的测量值与从所述测量设备外部的源获得的用于所述生产工件的校准值。

10.根据权利要求9所述的方法，其中，用于产生所述初始误差映射或误差函数的所述生产工件是所述第一系列标称相同工件中的一个。

11.根据权利要求9所述的方法，其中，用于产生所述初始误差映射或误差函数的所述生产工件是一系列标称相同工件中的一个，其不同于所述第一系列的所述工件。

12.一种用于尺寸测量设备的软件程序，所述软件程序被配置成使所述测量设备执行根据前述权利要求中任一项权利要求所述的方法。

13.根据权利要求12所述的用于尺寸测量设备的软件程序，其被配置成使所述测量设备执行以下步骤：通过将关于所述误差映射或误差函数的信息呈现给操作者而确定并选择所述经更新的误差映射或误差函数中的一个，以及从所述操作者接收对误差映射或误差函数的选择。

14.一种用于尺寸测量设备的控制器，其并有根据权利要求12或权利要求13所述的软件程序。

15.一种尺寸测量设备，其编程有根据权利要求12或权利要求13所述的软件程序。