[发明专利]有机酸酯类液体的制造方法,及电子零件制作用阻剂溶剂或电子零件制作用清洗液的制造方法有效
申请号: | 201680025674.4 | 申请日: | 2016-06-28 |
公开(公告)号: | CN107850837B | 公开(公告)日: | 2020-12-29 |
发明(设计)人: | 槻田正和;高田仁 | 申请(专利权)人: | 株式会社武藏野化学研究所;奥加诺株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;B01J31/08;B01J35/10;G03F7/32;H01L21/027 |
代理公司: | 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 | 代理人: | 程伟;唐瑞庭 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机酸 液体 制造 方法 电子零件 制作 用阻剂 溶剂 清洗 | ||
1.一种制造有机酸酯类液体的方法,其是将属于电子零件制作用阻剂溶剂的有机酸酯类液体或属于电子零件制作用清洗液的有机酸酯类液体中含有的有机过氧化物去除的方法,
该方法通过使该有机酸酯类液体与承载在合成树脂的载体的铂族金属催化剂接触,而去除该有机酸酯类液体中的有机过氧化物,且
该方法是使含有有机过氧化物的有机酸酯类液体与承载有铂族金属催化剂的载体接触,该承载有铂族金属催化剂的载体是在具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体承载铂族金属催化剂而形成的。
2.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述铂族金属催化剂为钯催化剂。
3.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述铂族金属催化剂是在具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体承载有平均粒径1至100nm的铂族金属的纳米粒子的铂族金属承载催化剂,
该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体由连续骨架相和连续孔隙相构成,连续骨架的厚度为1至100μm,连续孔隙的平均直径为1至1,000μm,全细孔容积为0.5至50mL/g,干燥状态中的每单位重量的离子交换容量为0.5至6mg当量/g,离子交换基均匀地分布在该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体中。
4.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体具有连续气泡结构,该连续气泡结构具有相互连接的巨孔、及巨孔壁内的平均直径为1至1,000μm的共通开口,全细孔容积为1至50mL/g,干燥状态中的每单位重量的离子交换容量为0.5至6mg当量/g,离子交换基均匀地分布在该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体中。
5.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体,是平均粒径1至50μm的有机聚合物粒子凝聚而形成三维连续的骨架部份,在该骨架间具有平均直径为20至100μm的三维连续的孔隙,全细孔容积为1至10mL/g,干燥状态中的每单位重量的离子交换容量为0.5至6mg当量/g,离子交换基均匀地分布在该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体中。
6.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体为包括骨架与孔隙的共连续结构体,该骨架为由已导入离子交换基的全构成单元中含有0.3至5.0摩尔%的交联结构单元的芳香族乙烯聚合物所构成的平均粗细度为1至60μm的三维连续的骨架,该孔隙为在该骨架间平均直径为10至200μm的三维连续的孔隙,全细孔容积为0.5至10mL/g,干燥状态中的每单位重量的离子交换容量为0.5至6mg当量/g,离子交换基均匀地分布在该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体中。
7.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体,是气泡状的巨孔彼此相互重叠且此重叠部份成为平均直径30至300μm的开口的连续巨孔结构体,全细孔容积为0.5至10mL/g,干燥状态中的每单位重量的离子交换容量为0.5至6mg当量/g,离子交换基均匀地分布在该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体中,且该连续巨孔结构体的切断面的SEM影像中,于截面显现的骨架部面积为影像区域中的25至50%。
8.根据权利要求1所述的制造有机酸酯类液体的方法,其中,所述具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体由连续骨架相与连续孔隙相所构成,该骨架具有固定在表面的直径4至40μm的多数个粒子体或在该有机多孔质体的骨架表面上形成的大小为4至40μm的多数个突起体,连续孔隙的平均直径为10至150μm,全细孔容积为0.5至10mL/g,干燥状态中的每单位重量的离子交换容量为0.5至6mg当量/g,离子交换基均匀地分布在该具有单块连续结构的有机多孔质阴离子交换体中。
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