[发明专利]通过涂覆饵基材制造用于光纤的多孔二氧化硅烟炱预成形件的方法

权利要求书

1.一种用于形成多孔烟炱体的方法，其包括：

将饵基材放在第一沉积系统中；

在所述饵基材上形成脱模涂层；

将所述经过涂覆的饵基材从所述第一沉积系统转移到第二沉积系统；以及

在所述第二沉积系统中，在所述经过涂覆的饵基材上沉积烟炱。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述饵基材包括氧化铝。

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述饵基材包括二氧化硅。

4.如权利要求1-3中任一项所述的方法，其特征在于，所述饵基材逐渐变细。

5.如权利要求1-4中任一项所述的方法，其特征在于，所述第一沉积系统包括浸涂设备。

6.如权利要求1-5中任一项所述的方法，其特征在于，所述脱模涂层包含碳。

7.如权利要求1-6中任一项所述的方法，其特征在于，所述烟炱包括二氧化硅。

8.如权利要求1-7中任一项所述的方法，其特征在于，由浸涂形成所述脱模涂层。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述浸涂包括将液体涂料介质施涂到所述饵基材。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述液体涂料介质包括碳前体。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述碳前体包括碳颗粒，所述碳颗粒的平均粒度是1-50μm。

12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述碳前体包括碳颗粒，所述碳颗粒的平均粒度是2-25μm。

13.如权利要求10-12中任一项所述的方法，其特征在于，所述液体涂料介质还包含粘合剂。

14.如权利要求13所述的方法，其特征在于，所述粘合剂包括乙基纤维素。

15.如权利要求10-14中任一项所述的方法，其特征在于，所述液体涂料介质还包含溶剂，所述溶剂包括醇。

16.如权利要求15所述的方法，其特征在于，所述醇是异丙醇。

17.如权利要求15或16所述的方法，其特征在于，所述涂料介质还包含共溶剂，所述共溶剂包括醇。

18.如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述液体涂料介质包含5-30重量％的碳前体、0.10-2.0重量％的粘合剂以及50-95重量％的溶剂。

19.如权利要求18所述的方法，其特征在于，所述碳前体是石墨。

20.如权利要求18或19所述的方法，其特征在于，所述粘合剂包括乙基纤维素。

21.如权利要求18-20中任一项所述的方法，其特征在于，所述溶剂包括异丙醇。

22.如权利要求21所述的方法，其特征在于，所述溶剂还包括丁醇或者1-甲氧基-2-丙醇。

23.如权利要求1-22中任一项所述的方法，其特征在于，所述脱模涂层的厚度是1-250μm。

24.如权利要求1-23中任一项所述的方法，其特征在于，所述第二沉积系统包括火焰，所述火焰燃烧了烟炱前体以形成所述烟炱。

25.如权利要求24所述的方法，其特征在于，所述烟炱包括硅，以及所述烟炱前体包括二氧化硅前体。

26.如权利要求25所述的方法，其特征在于，所述二氧化硅前体是八甲基环四硅氧烷或者SiCl₄。

27.如权利要求24所述的方法，其特征在于，所述烟炱包括锗，以及所述烟炱前体包括氧化锗前体。

28.如权利要求27所述的方法，其特征在于，所述氧化锗前体是GeCl₄。

29.如权利要求27或28所述的方法，其特征在于，所述烟炱的沉积包括在所述脱模涂层上形成多孔烟炱体。

30.如权利要求29所述的方法，其还包括从所述多孔烟炱体分离所述饵基材。