[发明专利]用于引发组件的两个片材之间脱粘结的方法和设备

说明书

背景技术

相关申请的交叉参考

本申请根据35U.S.C.§119，要求2015年03月04日提交的美国临时申请系列第62/128396号的优先权，本文以该申请为基础并将其全文通过引用结合于此。

发明领域

本发明涉及用于引发片组件的两块片材之间脱粘结(即，分离)的方法和设备，具体地，涉及用于引发薄片与载体之间的脱粘结的方法和设备。

技术背景

为了在设计用于较厚玻璃(大于或等于约400微米)的现有消费者电子加工中对超薄玻璃(即，厚度小于或等于300微米的玻璃)进行加工，使用载体来支撑超薄玻璃。用临时粘结剂使得载体与超薄玻璃粘结，从而在电子器件结构的加工过程中，超薄玻璃和载体保持相互粘结，但是允许在加工完成使得超薄玻璃与载体相互分离。为了从超薄玻璃剥离载体，在它们之间引发分离。引发分离的一种现有方法是在载体和超薄玻璃之间强制插入薄刀片(例如，剃刀片)。但是，由于刀片的直接作用以及在引发过程期间产生的玻璃碎片的进一步损坏形式，这种引发分离的方法会导致载体和/或超薄玻璃的破损。

发明内容

根据本公开，描述了能够在组件的两个片材(例如，超薄玻璃和载体)之间引发分离而不损坏片材的方法和设备。根据一个方面，通过在一个片材的边缘施加提升作用力来引发分离，其中，提升作用力在垂直于片材的主表面且远离组件的方向具有分量。

在以下的详细描述中给出了本发明的附加特征和优点，其中的部分特征和优点对本领域的技术人员而言由所述内容而容易理解，或按文字描述和附图实施各个方面而被认识。应理解，前面的一般性描述和以下的详细描述都只是各个方面的示例，用来提供理解要求保护的本发明的性质和特性的总体评述或框架。

所含附图用于进一步理解本发明的原理，附图被结合在本说明书中并构成说明书的一部分。附图图示说明了一个或多个实施方式，并与说明书一起用来说明例如本发明的原理和操作。

附图说明

图1是片组件的侧视示意图。

图1A是根据一个实施方式的片材的侧视示意图。

图1B是根据另一个实施方式的片材的侧视示意图。

图2是根据一个实施方式的啮合元件的平面示意图，其中，片组件显示为剖面图。

图2A是根据另一个实施方式的啮合元件的平面示意图，其中，片组件显示为剖面图。

图2B是根据另一个实施方式的啮合元件的平面示意图。

图3是根据图2的啮合元件在引发脱粘结过程中的侧视示意图。

图4是在引发了脱粘结之后的啮合元件和片组件的平面示意图。

具体实施方式

在以下的详述中，为了说明而非限制，给出了说明具体细节的示例性实施方式，以提供对本发明的各个原理的充分理解。但是，对于本领域普通技术人员显而易见的是，在从本说明书获益后，可以以不同于本文详述的其它实施方式实施本发明。此外，可能省略了对于众所周知的器件、方法和材料的描述，以免混淆本发明的各个原理的描述。最后，在任何适用的情况下，相同的附图标记表示相同的元件。

本文中，范围可以表示为从“约”一个具体值和/或到“约”另一个具体值的范围。当表示这样一个范围的时候，另一个实施方式包括从一个特定值和/或到另一个特定值。类似地，当使用前缀“约”表示数值为近似值时，应理解，具体数值形成另一个实施方式。还应理解的是，每个范围的端点值在与另一个端点值有关和与另一个端点值无关时，都是有意义的。

本文所用的方向术语，例如上、下、左、右、前、后、顶、底，仅仅是参照绘制的附图而言，并不用来表示绝对的取向。

除非另有表述，否则都不旨在将本文所述的任意方法理解为需要使其步骤以具体顺序进行。因此，当方法权利要求实际上没有陈述为其步骤遵循一定的顺序或者其没有在权利要求书或说明书中以任意其他方式具体表示步骤限于具体的顺序，都不旨在暗示该任意特定顺序。这样同样适用于任何可能的未明确表述的解释依据，包括：关于设置步骤或操作流程的逻辑；由语法结构或标点获得的一般含义；说明书所述的实施方式的数量或种类。

如本文中所用，单数形式的“一个”、“一种”和“该”包括复数指代形式，除非文中另有明确说明。因此，例如，提到的“一种组件”包括具有两种或更多种这类组件的方面，除非文本中有另外的明确表示。