[发明专利]磁性隧道结有效

专利信息
申请号: 201680025908.5 申请日: 2016-01-21
公开(公告)号: CN107690718B 公开(公告)日: 2021-02-19
发明(设计)人: 曼札拉·西迪克 申请(专利权)人: 美光科技公司
主分类号: H01L43/08 分类号: H01L43/08;H01L43/10;G11C11/16
代理公司: 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 代理人: 王龙
地址: 美国爱*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 磁性 隧道
【权利要求书】:

1.一种磁性隧道结,其包括:

导电第一磁电极,其包括磁记录材料;

导电第二磁电极,其与所述第一磁电极隔开且包括磁参考材料;

非磁性隧道绝缘体材料,其是在所述第一磁电极与所述第二磁电极之间;及

所述第一磁电极的所述磁记录材料包括第一结晶磁性区域,所述第一结晶磁性区域包括Co和Fe,且所述第一磁电极包括第二非晶区域,所述第二非晶区域包括非晶XN,其中X是W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的一或多个;所述非晶XN是非化学计量的富N。

2.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第一结晶磁性区域的所述Co和Fe直接抵靠所述第二非晶区域的所述非晶XN。

3.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第一结晶磁性区域包括B。

4.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第一结晶磁性区域不含B。

5.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第二非晶区域由所述非晶XN组成。

6.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中包括非晶XN的所述第二非晶区域具有不大于10埃的最大厚度。

7.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中包括非晶XN的所述第二非晶区域具有不大于50埃的最大厚度。

8.根据权利要求7所述的磁性隧道结,其中包括非晶XN的所述第二非晶区域具有不小于20埃的最小厚度。

9.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括W。

10.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Mo。

11.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Cr。

12.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括V。

13.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Nb。

14.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Ta。

15.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Al。

16.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述非磁性隧道绝缘体材料包括MgO。

17.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述非磁性隧道绝缘体材料不包括MgO。

18.一种磁性隧道结,其包括:

导电第一磁电极,其包括磁记录材料;

导电第二磁电极,其与所述第一磁电极隔开且包括磁参考材料;

非磁性隧道绝缘体材料,其是在所述第一磁电极与所述第二磁电极之间;

所述第一磁电极的所述磁记录材料包括第一结晶磁性区域,所述第一结晶磁性区域包括Co和Fe,且所述第一磁电极包括第二非晶区域,所述第二非晶区域包括非晶XN,其中X是W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的一或多个;

所述第一磁电极包括非磁性金属区域,所述第二非晶区域的所述非晶XN直接抵靠所述非磁性金属区域的金属。

19.根据权利要求18所述的磁性隧道结,其中所述第二非晶区域的所述非晶XN直接抵靠所述第一结晶磁性区域的所述Co和Fe。

20.一种磁性隧道结,其包括:

导电第一磁电极,其包括磁记录材料;

导电第二磁电极,其与所述第一磁电极隔开且包括磁参考材料;

非磁性隧道绝缘体材料,其是在所述第一磁电极与所述第二磁电极之间;

所述第一磁电极的所述磁记录材料包括第一结晶磁性区域,所述第一结晶磁性区域包括Co和Fe,且所述第一磁电极包括第二非晶区域,所述第二非晶区域包括非晶XN,其中X是W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的一或多个;以及

X包括W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的不止一个。

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