[发明专利]磁性隧道结有效
申请号: | 201680025908.5 | 申请日: | 2016-01-21 |
公开(公告)号: | CN107690718B | 公开(公告)日: | 2021-02-19 |
发明(设计)人: | 曼札拉·西迪克 | 申请(专利权)人: | 美光科技公司 |
主分类号: | H01L43/08 | 分类号: | H01L43/08;H01L43/10;G11C11/16 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 王龙 |
地址: | 美国爱*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁性 隧道 | ||
1.一种磁性隧道结,其包括:
导电第一磁电极,其包括磁记录材料;
导电第二磁电极,其与所述第一磁电极隔开且包括磁参考材料;
非磁性隧道绝缘体材料,其是在所述第一磁电极与所述第二磁电极之间;及
所述第一磁电极的所述磁记录材料包括第一结晶磁性区域,所述第一结晶磁性区域包括Co和Fe,且所述第一磁电极包括第二非晶区域,所述第二非晶区域包括非晶XN,其中X是W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的一或多个;所述非晶XN是非化学计量的富N。
2.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第一结晶磁性区域的所述Co和Fe直接抵靠所述第二非晶区域的所述非晶XN。
3.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第一结晶磁性区域包括B。
4.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第一结晶磁性区域不含B。
5.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述第二非晶区域由所述非晶XN组成。
6.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中包括非晶XN的所述第二非晶区域具有不大于10埃的最大厚度。
7.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中包括非晶XN的所述第二非晶区域具有不大于50埃的最大厚度。
8.根据权利要求7所述的磁性隧道结,其中包括非晶XN的所述第二非晶区域具有不小于20埃的最小厚度。
9.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括W。
10.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Mo。
11.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Cr。
12.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括V。
13.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Nb。
14.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Ta。
15.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中X包括Al。
16.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述非磁性隧道绝缘体材料包括MgO。
17.根据权利要求1所述的磁性隧道结,其中所述非磁性隧道绝缘体材料不包括MgO。
18.一种磁性隧道结,其包括:
导电第一磁电极,其包括磁记录材料;
导电第二磁电极,其与所述第一磁电极隔开且包括磁参考材料;
非磁性隧道绝缘体材料,其是在所述第一磁电极与所述第二磁电极之间;
所述第一磁电极的所述磁记录材料包括第一结晶磁性区域,所述第一结晶磁性区域包括Co和Fe,且所述第一磁电极包括第二非晶区域,所述第二非晶区域包括非晶XN,其中X是W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的一或多个;
所述第一磁电极包括非磁性金属区域,所述第二非晶区域的所述非晶XN直接抵靠所述非磁性金属区域的金属。
19.根据权利要求18所述的磁性隧道结,其中所述第二非晶区域的所述非晶XN直接抵靠所述第一结晶磁性区域的所述Co和Fe。
20.一种磁性隧道结,其包括:
导电第一磁电极,其包括磁记录材料;
导电第二磁电极,其与所述第一磁电极隔开且包括磁参考材料;
非磁性隧道绝缘体材料,其是在所述第一磁电极与所述第二磁电极之间;
所述第一磁电极的所述磁记录材料包括第一结晶磁性区域,所述第一结晶磁性区域包括Co和Fe,且所述第一磁电极包括第二非晶区域,所述第二非晶区域包括非晶XN,其中X是W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的一或多个;以及
X包括W、Mo、Cr、V、Nb、Ta、Al和Ti中的不止一个。
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