[发明专利]反应性溅射法和层叠体膜的制造方法

说明书

本发明的课题是提供一种反应性溅射法，其使非腐蚀区域沉积的颗粒沉积物、腐蚀区域产生的结瘤不易从溅射靶脱离，又能抑制电弧放电等。本发明的技术方案是：该反应性溅射法使用在真空室(10)内具备磁控溅射阴极(17)、(18)、(19)、(20)的溅射装置，并且在真空室内导入含有反应性气体的工艺气体进行成膜，所述反应性溅射法的特征在于，该反应性气体由氧气或氮气构成并且反应性气体中含有水。在反应性气体所含的水分的作用下，颗粒沉积物、结瘤变得不易从溅射靶脱离，带电的颗粒沉积物、结瘤的电荷减少而使电弧放电被抑制。

技术领域

本发明涉及在真空室内导入含有反应性气体的工艺气体进行成膜的反应性溅射法，特别涉及在溅射靶的非腐蚀区域沉积的颗粒沉积物、在溅射靶的腐蚀区域产生的结瘤不易从溅射靶脱离，又能抑制因上述颗粒沉积物、结瘤的带电引起的电弧放电等的反应性溅射法，和采用了该反应性溅射法的层叠体膜的制造方法。

背景技术

近年来，在便携式电话、便携式电子文件设备、自动售货机、汽车导航等的平板显示器(FPD)表面设置的“触摸屏”开始普及。

上述“触摸屏”大致分为电阻型和静电容量型。构成“电阻型的触摸屏”的主要部分有：由树脂膜构成的透明基板、设置在该基板上的X坐标(或Y坐标)检测电极片与Y坐标(或X坐标)检测电极片、和设置在这些片之间的绝缘体隔离物。进而，其机制是，虽然上述X坐标检测电极片与Y坐标检测电极片在空间上被隔离，但是若用笔等按压时，两坐标检测电极片则会电接触而以此判断笔的接触位置(X坐标、Y坐标)，每次只要使笔移动都能识别其坐标，从而最终能进行文字输入。另一方面，“静电容量型的触摸屏”具有的结构是：X坐标(或Y坐标)检测电极片与Y坐标(或X坐标)检测电极片隔着绝缘片而层叠，在其上配置有玻璃等绝缘体。而且，其机制是当手指靠近玻璃等的上述绝缘体时，其附近的X坐标检测电极、Y坐标检测电极的电容量会变化，由此能检测位置。

作为构成电极等的电路图案的导电性材料，以往广泛使用ITO(氧化铟-氧化锡)等的透明导电膜(参照专利文献1)。并且，随着触摸屏的大型化，也开始使用专利文献2、专利文献3等公开的网孔结构的金属制细线(金属膜)。

此处，对比透明导电膜与金属制细线(金属膜)而言，透明导电膜具有的优点是：因为其在可见波长区域的透过性优异所以电极等的电路图案几乎看不见，但具有的缺点是：因为比金属制细线(金属膜)的电阻值更高所以不利于触摸屏的大型化、响应速度的高速化。另一方面，金属制细线(金属膜)虽然因为电阻值低而有利于触摸屏的大型化、响应速度的高速化，但是因为可见波长区域的反射率高，所以即使将其加工成微细网孔结构，在高亮度照明下也能看见电路图案，具有降低产品价值的缺点。

于是，为了发挥电阻值较低的上述金属制细线(金属膜)的特性，提出了一种在由树脂膜构成的透明基板与金属制细线(金属膜)之间夹杂由金属氧化物或金属氮化物构成的金属吸收层(参照专利文献4、专利文献5)，以使从透明基板侧观测的金属制细线(金属膜)的反射降低的方法。

进而，对于由金属氧化物或金属氮化物构成的上述金属吸收层，从谋求金属氧化物或金属氮化物的成膜效率的观点出发，采用通过反应性溅射法在纵长状的树脂膜面上连续形成金属吸收层的方法。在该反应性溅射法中，使用具备安装有溅射靶的磁控溅射阴极的溅射装置，并在真空室内导入含有氧气、氮气等的反应性气体的工艺气体(氩气等)进行成膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2003-151358号公报(参照权利要求2)；

专利文献2：日本特开2011-018194号公报(参照权利要求1)；

专利文献3：日本特开2013-069261号公报(参照段落0004)；

专利文献4：日本特开2014-142462号公报(参照权利要求5、段落0038)；