[发明专利]合成石英玻璃基板用研磨剂以及合成石英玻璃基板的研磨方法有效
| 申请号： | 201680026694.3 | 申请日： | 2016-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN107532066B | 公开（公告）日： | 2020-06-02 |
| 发明（设计）人： | 高桥光人;野岛义弘 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李英艳;张永康 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 合成 石英玻璃 基板用 研磨剂 以及 研磨 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种合成石英玻璃基板用研磨剂，其包含研磨磨料、研磨促进剂及水，所述合成石英玻璃基板用研磨剂的特征在于，
所述研磨磨料是湿式氧化铈粒子，
所述研磨促进剂是钨酸或其盐，
相对于所述湿式氧化铈粒子100质量份，以0.1质量份以上且5质量份以下的比例来包含所述研磨促进剂。
2.如权利要求1所述的合成石英玻璃基板用研磨剂，其中，相对于所述合成石英玻璃基板用研磨剂100质量份，以5质量份以上且20质量份以下的比例来包含所述湿式氧化铈粒子。
3.如权利要求1或2所述的合成石英玻璃基板用研磨剂，其中，pH值为3以上且8以下。
4.一种合成石英玻璃基板的研磨方法，其特征在于，在粗研磨工序后的精修研磨工序中使用权利要求1或2所述的合成石英玻璃基板用研磨剂。
5.一种合成石英玻璃基板的研磨方法，其特征在于，在粗研磨工序后的精修研磨工序中使用权利要求3所述的合成石英玻璃基板用研磨剂。
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