[发明专利]弹性波装置及其制造方法

权利要求书

1.一种弹性波装置，具备：

压电基板，具有电极形成面；和

IDT电极，被设置在所述压电基板的所述电极形成面上，

所述IDT电极具有：被设置在所述压电基板的所述电极形成面上的紧贴层、和被设置在所述紧贴层上的主电极层，

所述紧贴层具有紧贴于所述压电基板的第1层、和紧贴于所述主电极层的第2层，

所述第1层具有第1侧面，所述第2层具有第2侧面，

所述第1侧面、所述第2侧面的至少一部分分别相对于所述电极形成面的法线方向处于倾斜，以使得所述第2层紧贴于所述主电极层的面的面积小于所述第1层紧贴于所述压电基板的面的面积，

在将所述第1侧面、所述第2侧面的处于倾斜的部分与所述电极形成面的法线方向所形成的角度分别设为所述第1侧面、所述第2侧面的倾斜角度时，所述第2侧面的所述倾斜角度小于所述第1侧面的所述倾斜角度。

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

所述主电极层具有侧面，在将所述主电极层的所述侧面与所述压电基板的所述电极形成面的法线方向所形成的角度设为所述主电极层的所述侧面的倾斜角度时，所述主电极层的所述侧面的所述倾斜角度为所述第2侧面的所述倾斜角度以下。

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

构成所述紧贴层的金属的弹性率大于构成所述主电极层的金属的弹性率。

4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

构成所述紧贴层的金属的熔点为构成所述主电极层的金属的熔点以上。

5.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

所述紧贴层由Ti构成，所述主电极层由Al构成。

6.一种弹性波装置，具备：

压电基板，具有电极形成面；和

IDT电极，被设置在所述压电基板的所述电极形成面上，

所述IDT电极具有：被设置在所述压电基板的所述电极形成面上的紧贴层、被设置在所述紧贴层上的中间层、和被设置在所述中间层上的主电极层，

所述紧贴层以及所述中间层分别具有侧面，

所述紧贴层的所述侧面的至少一部分相对于所述电极形成面的法线方向处于倾斜，以使得在所述紧贴层中紧贴于所述中间层的面的面积小于紧贴于所述压电基板的面的面积，所述中间层的所述侧面的至少一部分相对于所述电极形成面的法线方向处于倾斜，以使得在所述中间层中相接于所述主电极层的面的面积小于紧贴于所述紧贴层的面的面积，

在将所述紧贴层的所述侧面的处于倾斜的部分以及所述中间层的所述侧面的处于倾斜的部分与所述电极形成面的法线方向所形成的角度分别设为所述紧贴层的所述侧面以及所述中间层的所述侧面的倾斜角度时，所述中间层的所述侧面的所述倾斜角度小于所述紧贴层的所述侧面的所述倾斜角度。

7.根据权利要求6所述的弹性波装置，其中，

所述主电极层具有侧面，在将所述主电极层的所述侧面与所述电极形成面的法线方向所形成的角度设为所述主电极层的所述侧面的倾斜角度时，所述主电极层的所述侧面的所述倾斜角度为所述中间层的所述侧面的所述倾斜角度以下。

8.根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，

构成所述紧贴层的金属的弹性率为构成所述中间层的金属的弹性率以上，构成所述中间层的金属的弹性率大于构成所述主电极层的金属的弹性率。

9.根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，

构成所述紧贴层的金属的熔点为构成所述中间层的金属的熔点以上，构成所述中间层的金属的熔点为构成所述主电极层的金属的熔点以上。

10.根据权利要求6或7所述的弹性波装置，其中，

所述紧贴层由NiCr以及Ti之中的任一者构成，所述中间层由Ti构成，所述主电极层由Al构成。