[发明专利]蒸汽循环再生系统

说明书

提供一种循环并再生地使用蒸汽的蒸汽循环再生系统。至少包括：液化再生装置(3)，其具有对被加热物的蒸汽进行液化的液化空间及用于保持液状物的形态的加热部；汽化装置(5)，其在加热部对液状物进行加热来生成蒸汽；连通部(40)，其将液化再生装置和汽化装置连通；处理装置(9)，其采用蒸汽对被处理物进行处理；返回管(11)，其使在处理装置中使用过后的蒸汽返回至液化再生装置；液化再生温度控制部，其对液化再生装置的温度进行控制；以及汽化温度控制部，其对汽化装置的温度进行控制，被加热物在常温时以固体的形态存在，在液化再生装置中以蒸汽以及液状物的形态存在，在连通部中以液状物的形态存在，在汽化装置中以液状物以及蒸汽的形态存在，在处理装置以及返回管中以蒸汽的形态存在。

技术领域

本发明涉及一种循环并再生地使用蒸汽的蒸汽循环再生系统。

背景技术

金属等和氢的化合物即氢化物的气体在制造半导体时被广泛地使用。例如，硒化氢被用作硅半导体的掺杂气体或被用作由黄铜矿型化合物半导体所构成的太阳能电池的原料(参照专利文献1、2)。由于硒化氢是毒性较强的气体，因而较难处理，需要为气体的供给系统和排气系统支付大量的安全措施费用，导致制造设备的高成本。

作为黄铜矿型化合物半导体的另一制造方法，研究了在硒蒸汽的气氛中进行热处理并制膜的硒化法。采用硒蒸汽的方法与采用硒化氢的方法相比，虽然硒蒸汽具有腐蚀性，但是安全性显著改善且易于处理。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2012－153583号公报

专利文献2：日本专利特开2013－203655号公报

发明内容

发明所要解决的技术问题

然而，在现有技术中，由于使用完毕的腐蚀性蒸汽经过除害处理后被废弃，因此具有制造成本高的问题。

因此，本发明所要解决的技术问题是提供一种对以上述腐蚀性蒸汽为代表的各种蒸汽进行循环并再生地使用的蒸汽循环再生系统。

解决技术问题所采用的技术方案

为了解决上述技术问题，根据本发明，提供下述蒸汽循环再生系统。

也就是说，本发明的蒸汽循环再生系统至少包括：液化再生装置，该液化再生装置通过使被加热物的蒸汽液化来生成液状物，并且具有通过与在配管内流动的流体的热交换来使上述被加热物的蒸汽液化的液化空间以及用于保持上述液状物的形态的加热部；汽化装置，该汽化装置在加热部对来自上述液化再生装置的上述液状物进行加热并生成蒸汽；连通部，该连通部将上述液化再生装置和上述汽化装置连通并将来自上述液化再生装置的上述液状物引导至上述汽化装置；处理装置，该处理装置采用上述蒸汽对被处理物进行处理；返回管，该返回管使在上述处理装置中使用过后的上述蒸汽返回至上述液化再生装置；液化再生温度控制部，该液化再生温度控制部对上述液化再生装置的温度进行控制；以及汽化温度控制部，该汽化温度控制部对上述汽化装置的温度进行控制，其特征在于，上述被加热物在常温时以固体的形态存在，在上述液化再生装置中以上述蒸汽以及上述液状物的形态存在，在上述连通部中以上述液状物的形态存在，在上述汽化装置中以上述液状物以及上述蒸汽的形态存在，在上述处理装置以及上述返回管中以上述蒸汽的形态存在。

在本发明中，在常温时以固体的形态存在的被加热物在液化再生装置、汽化装置、处理装置以及返回管中一边变化为蒸汽或液状物这些合适的形态一边进行循环，因而能够循环并再生地使用蒸汽，从而能够使制造成本降低。