[发明专利]具有材料修改的波长透明材料的激光烧蚀

权利要求书

1.一种用于制造电化学器件的方法，包括以下步骤：

在金属电极上提供介电材料的层；

增强所述介电材料的层在可见光及近紫外线范围内的光吸收，形成增强的介电材料的层；和

使用具有在可见光及近紫外线范围中的波长的激光在所述层的选择区域中激光烧蚀所述增强的介电材料，其中所述激光烧蚀使所述金属电极大体上保持完整。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述激光烧蚀移除小于30％的所述金属电极的所述厚度。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述介电材料层为封装层。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述介电材料包括热固性聚合物。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述增强光吸收包括以下步骤：使所述介电材料曝露于紫外线光。

6.一种用于制造电化学器件的方法，所述方法包括以下步骤：

在金属电极上提供介电材料层，所述层经设计以获得在可见光及近紫外线范围内的更高的激光吸收；和

使用具有在可见光及近紫外线范围中的波长的激光在所述层的选择区域中激光烧蚀所述介电材料，其中所述激光烧蚀使所述金属电极大体上保持完整。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述介电材料层在从所述层的顶部至所述层与所述金属电极之间的界面的方向上具有组成梯度。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述介电材料使用多个源蒸发腔室而被沉积，所述多个源蒸发腔室中的每一腔室蒸发不同材料，并且其中所述组成梯度通过控制所述多个腔室中的每一腔室的材料沉积的相对速率、起始时间及周期而被决定。

9.根据权利要求7所述的方法，其中所述介电材料层包括聚对二甲苯和无机粒子。

10.根据权利要求7所述的方法，其中所述介电材料层包括聚对二甲苯和在可见光范围中的有机染料。

11.一种电化学器件，包括：

基板；

器件层堆叠，所述堆叠形成于所述基板上，所述堆叠包括阴极集电器层、阴极层、电解质层、阳极层和阳极集电器层；和

封装层，所述封装层覆盖所述堆叠，所述封装层经设计以强力吸收可见光和近紫外线范围内的激光。

12.根据权利要求11所述的电化学器件，其中所述封装层包括紫外线光交联聚合物。

13.根据权利要求11所述的电化学器件，其中所述封装层包括介电材料，所述介电材料在从所述封装层的顶部至所述封装层与所述金属电极之间的界面的方向上具有组成梯度。

14.根据权利要求11所述的电化学器件，其中所述封装层包括聚对二甲苯和无机粒子。

15.根据权利要求11所述的电化学器件，其中所述封装层包括聚对二甲苯和在可见光范围中的有机染料。