[发明专利]具有MEMS声音转换器的声音转换器组件

说明书

本发明涉及一种声音转换器组件，其具有用于制造并且/或者获取在可听见的波长频谱内的声波的第一MEMS声音转换器(21)，该第一MEMS声音转换器包括第一空穴(41)，并且具有与该第一MEMS声音转换器导电地连接的ASIC(11)。根据本发明，该ASIC(11)被埋入到第一基层(10)内，并且该第一MEMS声音转换器(21)布置在第二基层(20)上。此外设置，该第一基层(10)和该第二基层(20)相互导电地连接，并且该第一空穴(41)至少部分地构造在第一并且/或者第二基层(10、20)内。

技术领域

本发明涉及一种声音转换器组件，其具有用于制造并且/或者获取在可听见的波长频谱内的声波的MEMS声音转换器，该MEMS声音转换器包括一个空穴，并且具有与该MEMS声音转换器导电地连接的ASIC。这样的声音转换器组件可以尺寸非常小并且因而作为扩音器和/或麦克风被例如使用在听力器具、耳机、移动电话、平板电脑和其它的电子器具内，这些器具仅提供小的安装空间。

背景技术

名称MEMS代表微电子机械系统。用于制造声音的MEMS声音转换器或者MEMS扩音器例如由专利文献DE102012220819A1已知。声音制造通过MEMS扩音器的可振动地支承的膜片实现。这样的声音转换器组件根据各个应用领域的声学和其它的要求专门地构造并且由大量各种不同的元件构成。这样的声音转换器组件的主要缺点在于，它的制作相应地复杂、时间和成本费用高。

发明内容

本发明的任务是，创造一种声音转换器组件，其简单地构造并且能够被简易地制作。

任务通过具有本发明的特征的声音转换器组件以及制作方法而被解决。

本发明提出一种声音转换器组件，其具有包括第一空穴的第一MEMS声音转换器，并且具有与该第一MEMS声音转换器导电地连接的ASIC。MEMS声音转换器是用于制造并且/或者获取在可听见的波长频谱内的声波的微电子机械系统。优选，MEMS声音转换器电子机械地、静电地并且/或者压电地驱动。ASIC是电子专用集成电路(英文:application-specific integrated Circuit)，其适用于运行MEMS声音转换器。概念“空穴”可以理解成空腔，借助其能够使MEMS声音转换器的声压加强。根据本发明，ASIC被埋入到第一基层内，而第一MEMS声音转换器布置在第二基层上。由此，具有内置的ASIC的第一基层和具有至少部分内置的MEMS声音转换器的第二基层代表两个单独的，即彼此分开地制作的，构件。第一和第二基层相互连接。因而它们具有共同的连接区域，在其中它们直接相互贴靠。在两个基层之间的连接优选通过材料锁合而制作，其中，它们优选相互粘贴。附加地或者替换地，所述连接也可以借助形状锁合和/或力锁合制作。所述两个基层这样地相互连接，使得ASIC和第一MEMS声音转换器导电地相互耦合或者连接。

在声音转换器组件的制作中无法避免地出现一定的废品。借助根据本发明的声音转换器组件可以减少由废品产生的附加成本，其方式是，首先彼此分开地制作基层。然后检测它们的各个至少一个的电子部件，即ASIC或者MEMS声音转换器，的功能有效性。只有在它们的功能有效性为正时-即当保证，ASIC和/或MEMS声变换在各个置入或者埋入过程中没有被损坏时-，才将它们相互连接，尤其粘贴。因而可以保证，分别仅两个功能正常的基层才被相互连接成声音转换器组件。

此外提出这样的声音转换器组件的制作方法，其根据本发明包括这些步骤：

-将所述ASIC布置或者埋入到第一基层内，

-将所述MEMS声音转换器布置在第二基层上，

-使该第一基层和该第二基层相互导电地连接。

提出的声音转换器组件和提出的方法都为制作提供了很多优点。当ASIC完全置入到第一基层内并且/或者第一空穴至少部分地构造在第一并且/或者第二基层内时，可以使声音转换器组件非常结构空间节省地构造。