[发明专利]化学机械研磨浆料组合物的用途及用于研磨有机膜的方法有效
| 申请号： | 201680027986.9 | 申请日： | 2016-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN107636110B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 崔正敏;金泰完;都均奉;姜东宪;金东珍;兪龙植;崔渶楠 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;H01L21/3105 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 李艳;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙仁*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 化学 机械 研磨 浆料 组合 用途 用于 有机 方法 | ||
1.一种化学机械研磨浆料组合物的用途，用于研磨碳含量为50原子％至99原子％的有机膜，其特征在于，所述化学机械研磨浆料组合物包括：
极性溶剂及非极性溶剂中的至少一者；
金属氧化物磨蚀剂；
氧化剂；以及
分子量为3500克/摩尔或小于3500克/摩尔的聚丙烯酸，
其中所述金属氧化物磨蚀剂包括二氧化铈，且
其中所述氧化剂包括硝酸铁。
2.根据权利要求1所述的化学机械研磨浆料组合物的用途，其中所述有机膜具有0.5克/立方厘米至2.5克/立方厘米的膜密度及0.4GPa或大于0.4GPa的硬度。
3.根据权利要求1所述的化学机械研磨浆料组合物的用途，其中所述有机膜具有1.0克/立方厘米至2.0克/立方厘米的膜密度及1.0GPa或大于1.0GPa的硬度。
4.根据权利要求1项所述的化学机械研磨浆料组合物的用途，其中所述金属氧化物磨蚀剂以0.1重量％至20重量％的量存在于所述化学机械研磨浆料组合物中。
5.根据权利要求1所述的化学机械研磨浆料组合物的用途，其中所述聚丙烯酸以0.01重量％至5重量％的量存在于所述化学机械研磨浆料组合物中。
6.根据权利要求1所述的化学机械研磨浆料组合物的用途，其中所述氧化剂以0.001重量％至15重量％的量存在于所述化学机械研磨浆料组合物中。
7.根据权利要求1所述的化学机械研磨浆料组合物的用途，其中所述有机膜的酸值为0mg KOH/g。
8.一种用于研磨有机膜的方法，其特征在于，包括：使用如权利要求1至7中任一项所述的化学机械研磨浆料组合物研磨有机膜，所述有机膜具有50原子％至99原子％的碳含量、0.5克/立方厘米至2.5克/立方厘米的膜密度以及0.4GPa或大于0.4GPa的硬度。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三星SDI株式会社，未经三星SDI株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201680027986.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
