[发明专利]抗蚀剂图案涂布用组合物

权利要求书

1.一种涂布于抗蚀剂图案的组合物，其包含下述(A)成分和(B)成分，

(A)成分：选自多酸(a2)、多酸盐(a3)、水解性硅烷(a4)、所述水解性硅烷的水解物(a5)以及所述水解性硅烷的水解缩合物(a6)中的至少1种化合物，

(B)成分：水性溶剂，

所述水解性硅烷(a4)为包含具有叔氨基的有机基团的水解性硅烷(i)、包含具有离子性官能团的有机基团的水解性硅烷(ii)、包含具有羟基的有机基团的水解性硅烷(iii)或包含具有能够转化为羟基的官能团的有机基团的水解性硅烷(iv)，

多酸(a2)为同多酸、或选自钨硅酸和磷钼酸中的杂多酸，所述同多酸是钼酸，

多酸盐(a3)为所述同多酸的铵盐或所述杂多酸的铵盐，

组合物中作为溶剂仅含有水。

2.根据权利要求1所述的组合物，水解性硅烷(a4)的水解物是将水解性硅烷(a4)在碱性物质的存在下水解而得的水解物。

3.根据权利要求2所述的组合物，碱性物质为水解性硅烷的水解时所添加的碱性催化剂、或者水解性硅烷的分子内部所存在的氨基。

4.根据权利要求1所述的组合物，水解性硅烷(a4)的水解物是将水解性硅烷(a4)在酸性物质的存在下水解而得的水解物。

5.根据权利要求1所述的组合物，水解性硅烷(a4)为式(1)或式(1-1)所示的水解性硅烷，

〔R¹_a0Si(R²)_3-a0〕_b0R³_c0 式(1)

〔〔Si(R¹⁰)₂O〕_n0Si(R²⁰)₂〕R³⁰₂ 式(1-1)

式中，R³表示具有叔氨基的有机基团、具有离子性官能团的有机基团、具有羟基的有机基团或具有通过水解能够转化为羟基的官能团的有机基团，且R³通过Si-C键或Si-N键与硅原子结合，而且该R³可以形成环并与Si原子结合，R¹表示烷基、芳基、卤代烷基、卤代芳基、烯基、或者具有环氧基、丙烯酰基、甲基丙烯酰基、巯基或氰基的有机基团，且R¹通过Si-C键与硅原子结合，R²表示烷氧基、酰氧基或卤基，a₀表示0或1的整数，b₀表示1～3的整数，c₀表示1～2的整数，

R¹⁰和R²⁰分别表示羟基、烷氧基、酰氧基或卤基，R³⁰表示具有叔氨基的有机基团、具有离子性官能团的有机基团、具有羟基的有机基团或具有通过水解能够转化为羟基的官能团的有机基团，且R³⁰通过Si-C键或Si-N键与硅原子结合，而且该R³⁰可以形成环并与Si原子结合，n0表示1～10的整数。