[发明专利]用于检查和处理显微的样本的方法和检查系统

权利要求书

1.一种利用放大的数字光学的成像装置(20)并利用激光显微切割系统(10)来检查和处理布置在载物片(50)上的显微的样本(52)的方法(100)，通过该成像装置利用光学器件使得所述样本(52)成像并产生所述样本的数字的图像，该激光显微切割系统具有显微光学机构(13)和激光单元(11)，利用该激光显微切割系统产生用于处理所述样本(52)的激光束(12)，该方法具有如下步骤：

a)利用所述激光显微切割系统(10)的所述激光束(12)在所述载物片(50)上产生至少两个标注记号(51)，所述标注记号既可借助数字光学的所述成像装置(20)识别，又可借助所述激光显微切割系统(10)识别；

b)在按照前述步骤a)于所述载物片(50)上产生所述标注记号(51)之前或之后，把所述样本(52)放置到同一个载物片(50)上；

c)利用数字光学的所述成像装置(20)在所述载物片(50)上产生所述样本(52)的数字图像(40)，其中，该图像(40)也包括所述标注记号(51)；

d)确定出所述图像(40)的至少一个图像区(41)，并产生第一位置信息数据，所述第一位置信息数据表明了所述图像(40)中的至少一个图像区(41)的位置；

e)在按照前述步骤d)确定出所述图像(40)的至少一个图像区(41)之前、期间或之后，识别所述图像(40)中的所述标注记号(51)并产生第二位置信息数据，所述第二位置信息数据表明了所述图像(40)中的所述标注记号(51)的位置；

f)把第一和第二位置信息数据提供给所述激光显微切割系统(10)；

g)使得带有所述样本(52)和所述标注记号(51)的所述载物片(50)成像，并利用所述激光显微切割系统(10)识别所述标注记号(51)，以及产生第三位置信息数据，所述第三位置信息数据表明了所述激光显微切割系统(10)中的所述标注记号(51)的位置；

h)使得第一位置信息数据、第二位置信息数据和第三位置信息数据相关联，并利用所述激光显微切割系统(10)处理所述样本(52)的至少一个样本区域(53)，所述至少一个样本区域与所述图像(40)的在前述步骤d)中确定出的至少一个图像区(41)对应。

2.如权利要求1所述的方法(100)，其中，按照步骤a)借助所述激光显微切割系统(10)基于第四位置信息数据产生至少两个所述标注记号(51)，所述第四位置信息数据规定了在所述载物片(50)上的所述标注记号的位置。

3.如权利要求2所述的方法(100)，其中，利用所述第四位置信息数据识别所述图像(40)中的和/或所述激光显微切割系统(10)中的所述标注记号(51)。

4.如权利要求1所述的方法(100)，其中，利用所述数字光学的所述成像装置(20)的光学器件使得所述样本放大地成像。

5.如权利要求1所述的方法(100)，其中，使用至少部分地由玻璃、金属或塑料制成的和/或具有膜片(55)的载物片(50)，其中，在所述玻璃、金属、塑料和/或所述膜片中产生所述标注记号(51)。

6.如权利要求1所述的方法(100)，其中，按照步骤e)和/或按照步骤g)对所述标注记号(51)的识别至少部分地采用手动的和/或自动的方法进行。

7.如权利要求1所述的方法(100)，其中，按照步骤d)通过手动地和/或自动地划设要由所述激光显微切割系统(10)采用的切割线来确定出所述图像(40)的至少一个图像区(41)。

8.如权利要求1所述的方法(100)，其中，所述第一位置信息数据还描述了所述图像(40)的至少一个图像区(41)的形状。