[发明专利]具有波前光学操纵器的投射镜头、投射曝光方法和投射曝光设备

权利要求书

1.一种投射镜头(PO)，通过具有的工作波长λ小于260nm的电磁辐射，将布置在该投射镜头的物平面(OS)的区域中的掩模的图案成像至该投射镜头的像平面(IS)中，该投射镜头包含：

多个光学元件，其具有布置在该物平面(OS)与该像平面(IS)之间的投射光束路径中的光学表面，使得布置在该物平面中的图案通过所述光学元件可成像在该像平面中，以及

波前操纵系统(WFM)，可控地影响从该物平面行进至该像平面的投射辐射的波前，其中

该波前操纵系统具有操纵器(MAN)，该操纵器具有布置在该投射光束路径中的操纵器元件(ME)，以及致动装置(DR)，用于可逆地改变该操纵器元件在该投射光束路径的辐射上的光学效应；以及

该操纵器元件的操纵器表面布置在距离该投射镜头在此场平面的光学附近的最近场平面的有限距离(D)处，使得针对从该场平面的不同场点发出的光束，通过该致动装置可调整该操纵器元件的局部不同光学效应，

其特征在于，

该投射镜头还包含灵敏度适配系统，其配置为通过相对于该物平面位移该掩模和/或通过将该掩模变形来使该操纵器的灵敏度适配于成像特性的变化，

将操作控制系统分配给该投射镜头，该操作控制系统配置为使得根据控制算法来控制该操纵器；

灵敏度系列(SST)储存在该操作控制系统的存储器中，该灵敏度系列具有用于由阈值限定的不同的、相互邻接操纵值范围的、操纵器的两个或更多个不同灵敏度，其中灵敏度说明该操纵器处的限定操纵值变化与因此获得的在限定的操纵值范围内对该投射镜头的成像特性的效应之间的关系；以及

该操作控制系统配置为使得若该灵敏度系列内的阈值被超过或未达到，则从第一灵敏度切换为与该第一灵敏度不同的第二灵敏度，并且因此修改该控制算法。

2.如权利要求1的投射镜头，其特征在于，该操纵器元件(ME)通过承载装置(MT)可承载移动，并且以根据操作控制系统的控制信号的方式，通过位置改变装置(PC)，相对于该最近场平面，从第一位置(P1)可位移至第二位置(P2)。

3.一种投射镜头(PO)，通过具有的工作波长λ小于260nm的电磁辐射，将布置在该投射镜头的物平面(OS)的区域中的掩模的图案成像至该投射镜头的像平面(IS)中，该投射镜头包含：

多个光学元件，其具有布置在该物平面(OS)与该像平面(IS)之间的投射光束路径中的光学表面，使得布置在该物平面中的图案通过所述光学元件可成像在该像平面中，以及

波前操纵系统(WFM)，可控地影响从该物平面行进至该像平面的投射辐射的波前，其中

该波前操纵系统具有操纵器(MAN)，该操纵器具有布置在该投射光束路径中的操纵器元件(ME)，以及致动装置(DR)，用于可逆地改变该操纵器元件在该投射光束路径的辐射上的光学效应；以及

该操纵器元件的操纵器表面布置在距离该投射镜头在此场平面的光学附近的最近场平面的有限距离(D)处，使得针对从该场平面的不同场点发出的光束，通过该致动装置可调整该操纵器元件的局部不同光学效应，

其特征在于：

该操纵器元件(ME)通过承载装置(MT)可承载移动，并且以根据操作控制系统的控制信号的方式，通过位置改变装置(PC)，相对于该最近场平面，从第一位置(P1)可位移至第二位置(P2)，

将操作控制系统分配给该投射镜头，该操作控制系统配置为使得根据控制算法来控制该操纵器；

灵敏度系列(SST)储存在该操作控制系统的存储器中，该灵敏度系列具有用于由阈值限定的不同的、相互邻接操纵值范围的、操纵器的两个或更多个不同灵敏度，其中灵敏度说明该操纵器处的限定操纵值变化与因此获得的在限定的操纵值范围内对该投射镜头的成像特性的效应之间的关系；以及

该操作控制系统配置为使得若该灵敏度系列内的阈值被超过或未达到，则从第一灵敏度切换为与该第一灵敏度不同的第二灵敏度，并且因此修改该控制算法。

4.如权利要求2或3的投射镜头，其特征在于，该投射镜头具有光轴(OA)，并且该操纵器元件(ME)通过该位置改变装置(PC)，在该操纵器元件的区域中是可与该光轴平行移动的，和/或在于该操纵器元件通过该位置改变装置(PC)，在该操纵器元件的区域中，绕着延伸通过该光轴的倾斜轴是可倾斜的。