[发明专利]微机械弹簧设备和用于制造微机械弹簧设备的方法

权利要求书

1.微机械设备(10)，所述微机械设备具有：

弹簧装置(16；216；316；416；516)，所述弹簧装置在所述弹簧装置(16)的至少一个附接点(24-i；124)上以能运动的方式能耦接到或者已耦接到框架装置(14)上；

其中，所述弹簧装置(16；216；316；416；516)具有至少一个接片(18-i；218-i；318-i；518-1)，所述至少一个接片从所述至少一个附接点(24-i；124)开始延伸并且具有非线性的、弯曲的结构；并且

其中，所述至少一个接片(18-i；218-i；318-i；518-1)这样结构化，使得所述至少一个接片具有至少一个第一区段(20-i；220-i)以及至少一个扩宽区段(22-i；222-i；522)用于减小所述弹簧装置(16)的非线性，所述至少一个扩宽区段相对于所述第一区段(20-i；220-i)扩宽，其中，所述至少一个扩宽区段(22-i；222-i；522)至少部分地通过质量装置(26-i；526)构成，该质量装置在所述接片(18-i；218-i；318-i；518-1)上构造为所述弹簧装置(16；216；316；516)的一部分，其中，所述质量装置布置在相应接片的局部最大弯曲处。

2.根据权利要求1所述的设备，

其中，所述至少一个扩宽区段(22-i；222-i；522)相比于所述第一区段(20-i；220-i)具有更大的横截面面积。

3.根据权利要求1或2所述的设备，

其中，所述质量装置(26-i；526)能够使所述弹簧装置(16；516)的刚度不改变。

4.根据权利要求1或2所述的设备，

其中，所述质量装置(26-i；526)至少部分地与所述接片(18-i；518-1)一件式地构造。

5.根据权利要求1或2所述的设备，

其中，所述质量装置(26-i)盘状地构造。

6.根据权利要求1或2所述的设备，

其中，所述质量装置(526)方形地构造。

7.根据权利要求1或2所述的设备，

其中，所述弹簧装置(16；216；316；416)具有至少两个接片(18-i；218-i；318-i)，所述接片分别具有所述第一区段和所述至少一个扩宽区段(20-i；220-i、22-i；222-i)，其中，所述至少两个接片(18-i；218-i；318-i)关于对称轴线(S1)彼此对称地构造。

8.根据权利要求1或2所述的设备，

其中，所述弹簧装置(16)耦接到所述微机械设备(10；110；210)的微镜(12)上。

9.用于制造微机械设备(10)的方法，所述方法具有以下步骤：

构造弹簧装置(16；216；316；416；516)，所述弹簧装置在所述弹簧装置(16；216；316；416；516)的至少一个附接点(24-i；124)上以能运动的方式能耦接到或者已耦接到框架装置(14)上；

其中，所述弹簧装置(16；216；316；416；516)具有至少一个接片(18-i；218-i；318-i；518-1)，所述至少一个接片从所述至少一个附接点(24-i；124)开始延伸并且具有非线性的、弯曲的结构；并且

其中，所述至少一个接片(18-i；218-i；318-i；518-1)这样结构化，使得所述至少一个接片具有至少一个第一区段(20-i；220-i)以及至少一个扩宽区段(22-i；222-i；522)用于减小所述弹簧装置(16)的非线性，所述至少一个扩宽区段相对于所述第一区段(20-i；220-i)扩宽，其中，所述至少一个扩宽区段(22-i；222-i；522)至少部分地通过质量装置(26-i；526)构成，该质量装置在所述接片(18-i；218-i；318-i；518-1)上构造为所述弹簧装置(16；216；316；516)的一部分，其中，所述质量装置布置在相应接片的局部最大弯曲处。