[发明专利]真空阀

说明书

本发明的特征在于，包括：阀壳，其在内侧形成驱动空间，在两侧面打孔形成有移动通路部；阀叶，其安装于驱动空间，从内侧开闭移动通路部；主轴，其结合于阀叶后面；垂直移动部，其在阀壳下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞和主轴在垂直移动部内部连接，使所述阀叶沿上、下方向移动；水平移动部，其结合于垂直移动部下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽；水平移动单元，其具备配备于水平移动部内部的第二活塞、在第二活塞下部形成的移动引导凸块、在移动引导凸块两侧形成并穿过垂直移动引导槽的凸轮辊；本体托架，其在阀壳下部形成，以便容纳垂直移动部和水平移动部，且在两内侧面倾斜地形成有开闭诱导槽，所述开闭诱导槽供从垂直移动引导槽穿过的凸轮辊插入，随着水平移动单元的上、下移动，引导所述阀叶沿前、后方向移动。

技术领域

本发明涉及真空阀，所述真空阀1的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成驱动空间110，在两侧面分别打孔形成有移动通路部120、120`，以便对象物移动；阀叶200，其安装于所述驱动空间110，从内侧开闭所述移动通路部120；主轴300，其结合于所述阀叶200后面；垂直移动部400，其在所述阀壳100下部形成，且借助于空压而沿上、下方向移动的第一活塞410和所述主轴300在垂直移动部400内部连接，使所述阀叶200沿上、下方向移动；水平移动部500，其结合于所述垂直移动部400下部，且具备在两侧面沿垂直方向分别打孔形成的垂直移动引导槽510、510`；水平移动单元600，其配备于所述水平移动部500内部,且具备借助于空压而沿上、下方向移动的第二活塞610、在所述第二活塞610下部形成的移动引导凸块620、在所述移动引导凸块620两侧形成并分别穿过所述垂直移动引导槽510、510`的凸轮辊630、630`；本体托架700，其在所述阀壳100下部形成，以便容纳所述垂直移动部400和水平移动部500，且在两内侧面分别倾斜地形成有开闭诱导槽710、710`，所述开闭诱导槽710、710`供从所述垂直移动引导槽510、510`穿过的所述凸轮辊630、630`插入，随着所述水平移动单元600的上、下移动，引导所述阀叶200沿前、后方向移动。

背景技术

一般而言，用于制造半导体元件的半导体制造工序要求高精密度，因而要求高清洁度和特殊的制造技术。

出于这种理由，半导体元件在完美地切断空气中包含的异物质的接触的状态下，即，在真空状态下制造，从而能够生产制品可靠性及完整度高的制品。

另一方面，为了保持制造半导体元件的工序腔内部的真空状态，在工序腔的外部，安装有吸入工序腔内的空气及其他气体的真空泵。

另外，在所述工序腔与真空泵之间安装有真空阀，在将工序腔内部的空气及其他气体排出到外部的情况下，开放真空阀，在保持工序腔内部的真空状态的情况下，封闭真空阀，从而能够实现可将工序腔内部保持始终清洁的真空状态。

在这种真空阀中，下述专利文献1的“悬挂式四角闸阀(大韩民国公开专利公报特2003-0050409号)”涉及四角闸阀，其由利用密封圈保持真空并使轴升降的汽缸和四角的盘及在其上部具备矩形形状的通路的本体构成，其中，与缸轴以铰链方式连接并在四角的各角部构成的4个装配辊、在左右侧面进行滚动作用的侧面滚动辊、在盘前面部构成转角矩形密封圈的四角开闭盘、在四角闸阀本体内侧背面与装配辊对应地具有上升角的4个装配区、在本体前面内侧凸出且偏向左右侧各形成3个的定位球塞，始终向使四角开闭盘远离本体前面的方向施加力，借助于轴的升降运动，四角开闭盘进行升降，装配辊沿着装配区而上，因而构成有密封圈的四角开闭盘贴紧前面的通路，实现完全密闭，具有的优点是盘与通路的密闭效果高，盘的制作容易。

但是，所述专利文献1的“悬挂式四角闸阀”在对象物移动空间具备4个装配辊、侧面滚动辊、构成有矩形密封圈的四角开闭盘，从而当四角开闭盘进行持续运转时，装配辊、侧面滚动辊、矩形密封圈发生磨损，存在Air Leak(空气泄漏现象)及在对象物移动空间发生颗粒的问题。