[发明专利]物体保持装置、曝光装置、平板显示器的制造方法及器件制造方法

权利要求书

1.一种物体保持装置，其特征在于，具有：

保持部，其具有保持物体的保持面；

气体流路部，其具有构成能够供向所述保持面与所述物体之间供给的气体流动的流路的流路形成构件，且载置有所述保持部；以及

基部，其载置有所述气体流路部，

所述气体流路部构成为，所述流路沿第一方向延伸、且沿与所述第一方向交叉的第二方向排列有多个，

所述流路形成构件形成为，能够经由载置有所述保持部的载置面使流过所述流路的所述气体向所述保持面与所述物体之间供给。

2.如权利要求1所述的物体保持装置，其特征在于，

所述保持部包括具有所述保持面的多个保持构件。

3.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述气体流路部包括多个所述流路形成构件。

4.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述保持部或者所述基部以使形成于所述流路形成构件的槽构成所述流路的方式，与所述流路形成构件的形成有所述槽的区域以外的区域接合。

5.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述保持部具有至少一个第一贯穿孔，

所述流路与所述第一贯穿孔连通。

6.如权利要求5所述的物体保持装置，其特征在于，

所述载置面具有至少所述气体能够通过的第二贯穿孔，

所述流路形成构件以使流过所述流路的所述气体经由所述第一贯穿孔和所述第二贯穿孔向所述保持面与所述物体之间供给的方式形成。

7.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述流路形成构件构成能够供从所述保持面与所述物体之间吸引来的所述气体流动的吸引路。

8.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述基部具有形成有多个空隙的空隙层。

9.如权利要求8所述的物体保持装置，其特征在于，

所述基部通过所述空隙层的一个面侧的第一构件与另一个面侧的第二构件夹持所述空隙层而构成。

10.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述基部、所述保持部以及所述气体流路部形成为板状，并相互重叠地叠层。

11.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

所述保持部由石材或者陶瓷形成。

12.如权利要求1或者2所述的物体保持装置，其特征在于，

还具有驱动装置，所述驱动装置保持在所述保持面上保持的所述物体的外周缘部的一部分，并驱动所述物体。

13.如权利要求12所述的物体保持装置，其特征在于，

还包括具有清扫构件的清扫装置，其中，所述清扫构件以能够在与所述保持面相对的相对位置与离开所述载置面的分离位置之间移动的方式设置，所述清扫装置使所述清扫构件相对于所述保持部相对移动，由此清扫所述保持面，

所述清扫构件由所述驱动装置在所述相对位置与所述分离位置之间驱动。

14.一种曝光装置，其特征在于，具有：

权利要求1～13中的任一项所述的物体保持装置；以及

用能量束在所述物体保持装置所保持的所述物体上形成规定的图案的图案形成装置。

15.如权利要求14所述的曝光装置，其特征在于，

所述物体是用于平板显示器中的基板。