[发明专利]通过使用基于氮化钼的涂层的磨损和/或摩擦减少

权利要求书

1.一种包括涂覆有涂层的衬底表面的部件，所述涂层包括具有不小于40nm的厚度的至少一个MoN层，其特征在于，

在所述衬底表面与所述至少一个MoN层之间：

i)包括衬底表面硬化层，其是硬化的含氮衬底表面层并且具有不小于10nm的厚度，所述硬化的含氮衬底表面层通过在所述衬底表面处进行氮化处理产生，

和/或

ii)包括由多于2个MoN层和多于2个CrN层组成的层系统，其中形成所述层系统的所述MoN和CrN层是彼此交替沉积以形成多层MoN/CrN涂层膜的单独层；

所述至少一个MoN层由包括相混合的氮化钼组成，所述混合包括：

-六角相δ-MoN和立方相γ-Mo₂N，或

-六角相δ-MoN和过饱和立方相ζ-MoN，或

-六角相δ-MoN和立方相γ-Mo₂N以及过饱和立方相ζ-MoN。

2.根据权利要求1所述的部件，其中，无多层MoN/CrN涂层膜包括在所述衬底表面与所述至少一个MoN层之间，并且其中所述至少一个MoN层具有不小于500nm的厚度。

3.根据权利要求1所述的部件，其中，无硬化的含氮衬底表面层包括在所述衬底表面与所述至少一个MoN层之间，并且其中所述多层MoN/CrN涂层膜具有不小于460nm的厚度。

4.根据权利要求3所述的部件，其中，至少在一个单独MoN层与一个单独CrN层之间包括包含Mo、Cr和N的单独中间层。

5.根据权利要求4所述的部件，其中，所述单独中间层具有的厚度不小于10nm并且不大于紧接于所述单独中间层的所述单独CrN层的厚度或所述单独MoN层的厚度。

6.根据权利要求5所述的部件，其中，至少大多数所述单独MoN层具有不小于40nm的单独层厚度。

7.根据权利要求5或6所述的部件，其中，至少大多数所述单独CrN层具有不小于20nm的单独层厚度。

8.根据权利要求3至6中的任一项所述的部件，其中，在具有不小于40nm的厚度的所述至少一个MoN层的表面上，沉积第二多层MoN/CrN涂层膜。

9.根据权利要求2所述的部件，其中，所述至少一个MoN层的厚度不小于1μm并且不大于15μm。

10.根据权利要求2或9所述的部件，其中，所述至少一个MoN层由包括至少大部分六角相δ-MoN或仅六角相δ-MoN的氮化钼组成。

11.根据权利要求3至6中的任一项所述的部件，其中，所述单独MoN层由包括相混合的氮化钼组成，所述混合包括：

-六角相δ-MoN和立方相γ-Mo₂N，或

-六角相δ-MoN和过饱和立方相ζ-MoN，或

-六角相δ-MoN和立方相γ-Mo₂N以及过饱和立方相ζ-MoN。

12.根据权利要求1至6中的任一项所述的部件，其中，所述部件是汽车部件或紧密部件。

13.根据权利要求1所述的部件，其中，所述衬底表面硬化层具有不小于20nm并且不大于150nm的厚度。

14.根据权利要求6所述的部件，其中，至少大多数所述单独MoN层具有不大于500nm的单独层厚度。

15.根据权利要求7所述的部件，其中，至少大多数所述单独CrN层具有不大于500nm的单独层厚度。