[发明专利]压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置

说明书

本发明涉及压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置。压电式线性致动器具备：积层压电致动器；支撑积层压电致动器，并且向积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件；沿着积层压电致动器左右两侧延伸并相对于下部支撑部件可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器的压电效果产生的位移的一对位移传递部件；以及在下部支撑部件下方被卡止在一对位移传递部件而将两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部，位移传递部件各自形成为具有沿着积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状，在各位移传递部件的下端部，以对向状形成有下部支撑部件插通的纵长的导孔，在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有输出部。

技术领域

本发明涉及一种使用积层(叠层)压电致动器的压电式线性致动器、具备该压电式线性致动器的压电驱动阀以及具备该压电驱动阀的流量控制装置。

背景技术

以往，经常使用在线性致动器的驱动部或阀的驱动部中积层压电元件所构成的积层压电致动器，也知道有一种通过使用了积层压电致动器的压电驱动阀来控制流量的流量控制装置。

作为这种流量控制装置的一例，图23所示的流量控制装置30以能够通过安装在主体31上的积层压电致动器34对介于主体31的内部的流路32上的金属隔膜阀等阀体33进行开闭操作的方式而制成(专利文献1～3等)。

图23所示的流量控制装置30被称为压力式流量控制装置，若在介于流路32上的流孔35的下游侧压力P₂与上游侧压力P₁之间保持为(P₁/P₂)≧约2的所谓临界膨胀条件，则在流孔35流通的气体流量Q成为Q＝KP₁(其中K为常数)的关系。

利用这种关系，使用上游侧的阀对压力检测器36检测出的上游侧压力P₁进行反馈控制，由此能够高精度地控制流量Q，而且，即使阀体33的上游侧气体的压力大幅度变化，也能够发挥控制流量值几乎不变化的优异特性。上游侧压力P₁的高精度的控制可通过使用响应性优异的积层压电致动器34的压电驱动阀完成。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2003-120832号公报

专利文献2：日本专利特开平8-338546号公报

专利文献3：日本专利特开2010-151698号公报

近年来，尤其在半导体制造装置的领域中，谋求气体供给系统的小型化，因此针对构成气体供给系统的阀或流量控制装置，谋求小型化。

但是，阀的开闭动作所需的推力由流经阀的气体的流量或压力等条件而决定，因此并无法单纯地将积层压电致动器小型化，而阻碍了流量控制装置整体的小型化。

发明内容

因此，本发明的主要目的在于：尽管积层压电致动器与以往相同，也要将压电式线性致动器薄型化、将具备压电式线性致动器的压电驱动阀小型化、以及将具备压电驱动阀的流量控制装置小型化。