[发明专利]化学强化玻璃

权利要求书

1.一种化学强化玻璃，其具有第一主面、与所述第一主面相反的第二主面以及连接所述第一主面与所述第二主面的端面，并且

在所述第一主面和所述第二主面设置有压应力层，其中，

所述化学强化玻璃的平均板厚t为0.06mm～0.25mm，并且

在进行下述弯曲试验方法的情况下，不形成以所述第一主面和所述第二主面中的至少一个主面作为起点的裂纹，

(弯曲试验方法)

进行如下所述的弯曲试验方法：

将第一支撑盘与第二支撑盘以使得所述第一支撑盘的支撑面与所述第二支撑盘的支撑面彼此相对的方式平行配置，

使所述化学强化玻璃的端部分别由所述第一支撑盘与所述第二支撑盘支撑，

在将所述第一支撑盘的支撑面与所述第二支撑盘的支撑面的间隔维持为通过下述式(1)求出的间隔D[mm]的状态下，使所述第二支撑盘的相对于所述第一支撑盘的位置向与所述第一支撑盘的支撑面和所述第二支撑盘的支撑面平行且不改变所述化学强化玻璃的弯曲方向的方向移动200mm，

对在所述第一支撑盘与所述第二支撑盘之间发生弯曲的所述化学强化玻璃中是否形成裂纹进行考察，

D＝(A×E×t/σ)+t(1)

D：所述第一支撑盘的支撑面与所述第二支撑盘的支撑面的间隔(单位[mm])

A＝1.198

E：所述化学强化玻璃的杨氏模量(单位[MPa])

t：所述化学强化玻璃的平均板厚(单位[mm])

σ＝200(单位[MPa])。

2.如权利要求1所述的化学强化玻璃，其中，所述化学强化玻璃的所述端面具有：相对于所述第一主面向所述第二主面侧倾斜延伸的第一倾斜部、相对于所述第二主面向所述第一主面侧倾斜延伸的第二倾斜部以及连接所述第一倾斜部与所述第二倾斜部的曲面部。

3.如权利要求2所述的化学强化玻璃，其中，所述曲面部的所述化学强化玻璃的板厚方向上的截面形状为圆弧状。

4.如权利要求2或3所述的化学强化玻璃，其中，所述曲面部的最小曲率半径为0.125mm以下。

5.如权利要求1～4中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述第一主面和所述第二主面的表面压应力为400MPa～1000MPa。

6.如权利要求1～5中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述第一主面和所述第二主面的压应力深度为6μm～25μm。

7.如权利要求1～6中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述化学强化玻璃的内部拉应力为250MPa以下。

8.如权利要求1～7中任一项所述的化学强化玻璃，其中，在所述端面设置有压应力层。

9.如权利要求1～8中任一项所述的化学强化玻璃，其中，所述化学强化玻璃的面内的板厚的最大值与最小值之差为0.03mm以下。

10.如权利要求1～9中任一项所述的化学强化玻璃，其中，以氧化物基准的摩尔％表示，所述化学强化玻璃含有0.8％～4.5％的Al₂O₃。

11.如权利要求1～10中任一项所述的化学强化玻璃，其用于光掩模基板。