[发明专利]制备纳米结构化层的方法

权利要求书

1.用于制备电化学电池的纳米结构化电极的方法，

- 其中将活性材料借助磁控溅射施加至导电基材上，

- 其中使用陶瓷靶，其包含具有在0.1和25重量%之间的额外的碳份额的电极材料，和

- 其中所述活性材料在一个工艺步骤中沉积至导电基材上，其中在工艺室中设定0.1至1 mg·h/cm²的沉积速率和1∙10^-3 mbar至5∙10^-2 mbar的工艺压力，

其特征在于，

- 在沉积期间基材保持在400℃和1200℃之间的温度，并且在沉积期间形成纳米纤维状多孔网络。

2.根据权利要求1的方法，其中作为活性材料使用LiFePO₄、Li₄Ti₅O₁₂、LiM_xO₂型的锂金属氧化物，其中M = Co、Ni、Mn、Al，LiMn₂O₄-尖晶石，还有部分取代的，LiMPO₄型的锂金属磷酸盐，其中M = Fe、Mn、Co、V，还有部分取代的，V₂O₅或转化材料。

3.根据权利要求1至2中任一项的方法，其中靶中额外的碳份额在2和7重量%之间。

4.根据权利要求1至2中任一项的方法，其中作为工作气体使用氩气、氩气/氧气、氩气/氮气、氩气/氢气或氩气/碳氢化合物。

5.根据权利要求1至2中任一项的方法，其中在工艺室中设定0.5至2 W/cm²的功率密度。

6.根据权利要求1至2中任一项的方法，其中在工艺室中设定5至50 sccm的气体流量。

7.根据权利要求1至2中任一项的方法，其中沉积时间设定在10分钟和10小时之间。