[发明专利]紫外光产生用靶及其制造方法

说明书

本发明的紫外光产生用靶(20A)，包括透射紫外光(UV)的蓝宝石基板(21)，和与蓝宝石基板(21)相接且含有氧原子与铝原子并透射紫外光(UV)的中间层(22)，以及设置在中间层(22)上、包含被添加有活化剂的、含有稀土类的氧化物晶体并接受电子束(EB)而产生紫外光(UV)的发光层(23)。

技术领域

本发明涉及紫外光产生用靶及其制造方法。

背景技术

在专利文献1中，公开了薄膜EL元件。在该薄膜EL元件中，为了提高荧光层中的光的取出效率，将玻璃基板的表面粗糙化。在专利文献2中，公开了LED用基板以及其制造方法。该LED用基板具有，用于将从LED发光层射出的光从外部高效率取出的光取出膜。光取出膜的最外表面含有以非晶态氧化铝或者氢氧化铝为主成分的纳米级无规则细微凹凸结构。在专利文献3中，公开了在面发光体的制造中使用的薄膜保持基板。为了提升面发光体的光取出率，该薄膜保持基板具备在透明性基材上成膜的含有微粒子以及粘合剂的复合薄膜。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开昭61-156691号公报

专利文献2：日本特开2013-222925号公报

专利文献3：国际公开第2005/115740号

发明内容

发明所要解决的问题

历来，作为紫外光源使用水银疝气灯和氘灯等电子管。但是，这些紫外光源发光效率低且为大型，而且在稳定性和寿命方面存在问题。此外，在使用水银疝气灯的情况下，要担心水银对环境的影响。另一方面，作为其它紫外光源，具有电子束激发紫外光源，其具备通过对靶照射电子束而激发紫外光的结构。电子束激发紫外光源作为在有效利用高的稳定性的光学测量领域和有效利用低功耗性的杀菌用光源以及消毒用光源、或者利用高的波长选择性的医疗用光源或生物化学用光源被期待。

此外，近年来开发有能够输出波长360nm以下的紫外区域的光的发光二极管。但是，来自这样的发光二极管的输出光强度还很小，而且利用发光二极管难以达到发光面的大面积化，因此存在用途受到限定的问题。相对于此，电子束激发紫外光源能够产生足够强度的紫外光，而且能够输出通过增大照射至靶的电子束的直径，而具有大面积且均匀的强度的紫外光。

但是，在电子束激发紫外光源中也被要求紫外光输出效率的进一步提高。通常情况下，电子束激发紫外光源用靶具备支撑基板以及在支撑基板上成膜的发光层。发光层接受电子束产生紫外光，该紫外光通过支撑基板向外部输出。通过这样的靶，为了进一步提高输出效率，可以考虑比如使紫外线通过的支撑基板表面(发光层一侧的表面，以及相对发光层另一侧表面中的一方或者双方)粗糙化，来使支撑基板表面的反射减低，可以提高光取出效率。

但是，根据支撑基板的种类，有难以稳定表面粗糙化的情况。比如，支撑基板由蓝宝石形成的情况下，因为蓝宝石的硬度极高所以并不容易将表面粗糙度控制为一定。另外，因为蓝宝石不溶于酸与碱，很难蚀刻表面。因此，在将蓝宝石基板作为支撑基板使用的靶，有难以稳定提高光取出效率的问题。

本发明的鉴于上述问题点而完成，其目的在于提供能够提高紫外光取出效率的紫外光产生用靶及其制造方法。

用于解决问题的手段

为了解决所述课题，本发明的一个侧面的紫外光产生用靶包括透射紫外光的蓝宝石基板；以及与蓝宝石基板相接且在组成上含有氧原子和铝原子的成分并且透过紫外光的中间层；以及设置在中间层上，包括被添加有活化剂的含有稀土类的氧化物晶体，并接受电子束而产生紫外光的发光层。