[发明专利]可动反射元件和二维扫描装置

权利要求书

1.一种可动反射元件，其包括：

平板状的固定框；

平板状的可动框，其与所述固定框之间空出间隙地配置于所述固定框的框内；

平板状的镜面部，其与所述可动框之间空出间隙地配置于所述可动框的框内，具有反射面；

第1致动器部，其是具有挠性的线状的一对构件，该第1致动器部的一对构件连结所述固定框和所述可动框，在从所述固定框的内边沿着第1方向延伸的部分形成有沿着所述第1方向伸缩的压电元件，所述第1致动器部的一对构件分别配置于所述可动框的与所述第1方向交叉的第2方向上的两侧，利用所述第1致动器部的压电元件的伸缩发生变形而使所述可动框以第1旋转轴为中心相对于所述固定框摆动；以及

第2致动器部，其是具有挠性的线状的一对构件，该第2致动器部的一对构件连结所述可动框和所述镜面部，在从所述可动框的内边沿着所述第2方向延伸的部分形成有沿着所述第2方向伸缩的压电元件，所述第2致动器部的一对构件分别配置于所述镜面部的所述第1方向上的两侧，利用所述第2致动器部的压电元件的伸缩发生变形而使所述镜面部以与所述第1旋转轴交叉的第2旋转轴为中心相对于所述可动框摆动；

所述第1致动器部的沿着所述第1方向延伸的部分的长度大于从所述固定框的与所述第1致动器部连接的内边到所述可动框的沿着所述第1方向延伸的外边的中点为止的距离。

2.根据权利要求1所述的可动反射元件，其中，

所述第1致动器部包括：

第1臂部，其形成有所述第1致动器部的压电元件，该第1臂部的一端连接于所述固定框的内边，并在所述固定框和所述可动框之间的间隙中从所述一端沿着所述第1方向呈直线状延伸到超过所述可动框的外边的中点的位置；

第2臂部，其一端与所述第1臂部的另一端连接，并沿着所述第2方向延伸；以及

第3臂部，其一端与所述第2臂部的另一端连接，从所述第2臂部的另一端折回后沿着所述第1臂部延伸，且另一端与所述可动框的外边的中点连接。

3.根据权利要求2所述的可动反射元件，其中，

所述第2致动器部包括：

第4臂部，其形成有所述第2致动器部的压电元件，该第4臂部的一端连接于所述可动框的内边，并在所述可动框和所述镜面部之间的间隙中从所述一端沿着所述第2方向呈直线状延伸到超过所述镜面部的外边的中点的位置；

第5臂部，其一端与所述第4臂部的另一端连接，并沿着所述第1方向延伸；以及

第6臂部，其一端与所述第5臂部的另一端连接，从所述第5臂部的另一端折回后沿着所述第4臂部延伸，且另一端与所述镜面部的沿着所述第2方向延伸的外边的中点连接。

4.根据权利要求3所述的可动反射元件，其中，

所述第1致动器部的一对构件彼此配置成以所述镜面部为中心呈180度旋转对称，

所述第2致动器部的一对构件彼此配置成以所述镜面部为中心呈180度旋转对称，

在以所述镜面部为中心的旋转方向上，所述第1臂部的从一端向另一端去的朝向和所述第4臂部的从一端向另一端去的朝向相同。

5.根据权利要求3所述的可动反射元件，其中，

所述第1致动器部的一对构件彼此配置成以所述镜面部为中心呈180度旋转对称，

所述第2致动器部的一对构件彼此配置成以所述镜面部为中心呈180度旋转对称，

在以所述镜面部为中心的旋转方向上，所述第1臂部的从一端向另一端去的朝向和所述第4臂部的从一端向另一端去的朝向相反。

6.根据权利要求2所述的可动反射元件，其中，

所述第2致动器部具有第7臂部，该第7臂部形成有所述第2致动器部的压电元件，

所述第7臂部的一端连接于所述可动框的内边，在所述可动框和所述镜面部之间的间隙中从所述一端沿着所述第2方向呈直线状延伸到超过所述镜面部的外边的中点的位置，且另一端连接于所述镜面部的角部。