[发明专利]在阻剂应用中作为光酸产生剂的磺酸衍生物化合物

权利要求书

1.一种由式(I)或式(II)表示的磺酸衍生物化合物(i)：

其中

R¹是氢，R²选自由以下各项组成的群组：

具有1至18的碳数的脂肪族基团，其中一或多个氢原子可经卤素原子取代；

具有1至18的碳数的脂肪族基团，其包含至少一个选自由-O-、-S-、-C(＝O)-O-和-C(＝O)-S-组成的群组的部分，且其中所述脂肪族基团任选地包含至少一个卤素原子；和

具有6至18的碳数的芳基，其中一或多个氢原子可经卤素原子、具有1至18个碳数的脂肪族基团、具有1至20个碳数的卤代烷基、具有1至20个碳数的烷氧基、或具有1至20个碳数的卤代烷氧基取代；且

R³选自由以下各项组成的群组：

具有1至18的碳数的脂肪族基团，其可经一或多个卤素原子取代。

2.根据权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中，在式(I)和(II)中，R¹是氢且R²是具有1至18的碳数的脂肪族基团，其中一或多个氢原子可经卤素原子取代；且式(I)和(II)中的R³是具有1至18的碳数的脂肪族基团，其中一或多个氢原子可经卤素原子取代。

3.根据权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中，在式(I)和(II)中，R¹是氢且R²是包含至少一个-C(＝O)-O-部分的具有2至18的碳数的脂肪族基团，且R³是具有1至6的碳数的脂肪族基团，其可经一或多个卤素原子取代。

4.根据权利要求3所述的磺酸衍生物化合物为：

5.根据权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中，在式(I)和(II)中，R¹是氢且R²是具有6至18的碳数的芳基，其中一或多个氢原子可经具有1至18的碳数的烷基或具有1至18的碳数的烷氧基取代，且R³是具有1至18的碳数的脂肪族基团，其可经一或多个卤素原子取代。

6.根据权利要求5所述的磺酸衍生物化合物，其选自由以下各项组成的群组：

7.根据权利要求1所述的磺酸衍生物化合物，其中，在式(I)和(II)中，R¹是氢且R²是包含至少一个-O-的具有1至18的碳数的脂肪族基团；且式(I)和(II)中的R³是具有2至18的碳数的脂肪族基团，其中一或多个氢原子可经卤素原子取代。

8.一种组合物，其包含：

(i)至少一种根据权利要求1到7中任一权利要求所述的磺酸衍生物化合物(i)；

(ii)至少一种化合物(ii)，其在酸存在下能够被赋予改变的水溶液溶解度；

(iii)有机溶剂(iii)；和任选地，

(iv)添加剂(iv)。

9.根据权利要求8所述的组合物，其中所述至少一种化合物(ii)是聚(羟基苯乙烯)-树脂，其中至少一部分羟基经保护基团取代。

10.根据权利要求9所述的组合物，其中所述保护基团选自由以下各项组成的群组：叔丁氧基羰基氧基、叔丁基氧基、叔戊基氧基羰基氧基和缩醛基团或其任何组合。

11.根据权利要求8所述的组合物，其中所述至少一种化合物(ii)是在经酸催化时与自身和/或与所述至少一种添加剂进行交联反应的组分。

12.根据权利要求8到11中任一权利要求所述的组合物，其中所述至少一种有机溶剂(iii)选自由以下各项组成的群组：酮、醚和酯或其任何组合。